【SI好文翻译】铜箔表面纹理对损耗的影响：一个有效的模型（三）

粗糙的表面：真正的导体表面并不是完全平坦的。 有意将铜表面制造成粗糙的，以使它们在高温和压力下粘附到层压叠层中的电介质传播介质上； 剥离测试通常用于确定粘附的质量。 图 8 显示了为本研究制造的六层高轮廓层印刷电路板在四种不同的扫描电子显微镜放大倍数下的表面粗糙度。 照片中可以看到蚀刻的微带线（顶部和底部）、嵌入的玻璃纤维束、树脂阻焊层和一些杂质。

图 8. 六层、高轮廓、粗铜、FR-4 印刷电路板的四张扫描电子显微照片，其中嵌入了玻璃纤维束、树脂阻焊层和几种杂质。 照片 (d) 显示了一个 10 µm 的红色条供参考。

因为磁场和电场强度相对于趋肤深度 δ 传播到铜中，所以我们注意到

因此，1 GHz 时的趋肤深度与铜走线下侧的一些表面不规则性相当，而在 100 GHz 时，集肤深度要小得多，如下面详细所示。

粗糙表面制造工艺：典型的铜箔制造工艺如图 9 所示。

 图 9 a.CuSO4溶液中铜的纯化。b. 将铜电沉积到旋转的钛鼓上。c. 随后的化学工艺，添加铜球，保护铜表面免于失去光泽，使表面对典型 FR-4 中所含的 Br 具有抗性，以及其他专有表面处理。 底部照片是化学处理前后铜箔表面的滚筒侧和CuSO4侧的SEM图像。

该工艺允许为不同应用定制制造非常光滑或非常粗糙的铜表面。 但是，PCB 中使用的后处理铜箔通常具有结节纹理，如图 10 和 11 所示。

图 10. 以 32º 入射角拍摄的高剖面和低剖面结构的扫描电子显微镜照片。 每张照片右下角的白条长 2 µm。 

在图 10 中，我们看到高轮廓样品类似于铜结节金字塔结构，以标称六边形图案排列在哑光表面上。 相比之下，低剖面样品似乎是由类似大小的铜球随机散布在平面上组成的； 结节的半径不同，但平均直径约为 1 µm。

 图 11. 另一个高轮廓表面在 1 GHz、10 GHz 和 100 GHz 下相对于趋肤深度 δ 的扫描电子显微照片。

从图 11 中我们可以看到，呈金字塔形堆叠的锚结节具有许多角落和缝隙，可以在压力下抓住加热的 FR-4 树脂，以提供良好的物理粘附。堆叠的其他特征是结核本身可能由非常小的内核组成，这些内核像“雪球”一样形成团块。许多以前对金字塔形叠层中的空隙、与实心铜相比表面铜的平均密度以及表面材料的电阻率的研究都与这种结构一致。 显然，对于任何“简单”的二维分析或模型来说，即使不是不可能，也很难正确地表示表面的复杂性质。

此外，我们还进行了俄歇测量，以确定表面“雪球”的化学成分，并发现从黄铜（CuZn）到纯铜的指数变化，深度约为200 nm，C、O、Si和Ni的浓度较小。这些元素是在制造过程中有意添加的（图 9）； Zn 保护铜表面免受氧化，Si 保护 Zn 免受 FR-4 中的 Br 和其他微妙的负面化学影响。添加物的电气重要性在于它们会形成具有较低电导率的雪球表面薄膜，并将单个雪球上的表面电荷彼此隔离。

如图 12 所示，还借助激光轮廓仪测量了雪球金字塔的物理范围。

图 12. 用于插入损耗测量的高轮廓铜表面的激光轮廓仪测量。 许多类似的扫描得到了齿高为 9.4 µm 和基宽为 5.8 µm 的叠层的 RMS 轮廓。

如果有的话，图 12 的结果向我们展示了使用激光轮廓仪确定如图 10 和 11 所示的铜材料 3-D 叠层结构的局限性。由于激光探头的半径约为 2 µm，因此该工具相对较钝，从俯视角度到 0.2 µm 的垂直分辨率只能显示较大的特征。 金刚石尖端轮廓仪的测针通常具有高达 10 µm 的更钝半径。

非均匀雪球模型：

为了更准确和分析地描述功率损耗，我们构建了一个雪球堆叠模型，其中不同半径的球体位于平面下方不同距离处，用于吸收和散射在传输线粗糙表面下传播的电磁波，如图 13 所示。

 图 13. 多个非均匀铜雪球堆叠的横截面，这些铜雪球位于平面下方距离处以形成金字塔。

当第 i 个铜球受到传播 TEM 模式的外部电场和磁场强度时，它会产生一个电偶极矩  和一个磁偶极矩 。

由于传播场的相长干涉以及第 i 个铜球的散射和吸收，点 P 处的场可以通过部分波分析来计算，如“信号完整性的基础”中所做的那样，以产生有效的散射和吸收截面。如果每个雪球的位置已知，
原则上，可以计算由于表面上所有球体在点 P 处的场强，并评估由于粗糙表面而从传播的 TEM 场中损失的功率量。如此精确的计算是不可能的，因此在对点 P 的场进行近似时已经进行了很多近似。已采用 Born 近似技术来进行忽略二阶效应的分析。下面列出了这些近似值中最重要的一个。忽视：
• 吸收和散射中的四极和更高的多极矩。
• 由于附近的导电平面造成的图像场。
• 由于最近邻分散场而筛选场。
• 2 个或更多雪球的多次散射。
• 来自雪球周期性结构的布拉格散射。
• 每个雪球的表面合金。

所有这些次要效应都经过近似计算，发现小于一阶玻恩近似分量的 6%。由于地平面上的雪球造成的少量散射和吸收功率包含在走线下方的数字中。为了与测量的功率损耗进行比较，我们进一步假设非均匀球半径的集合可以通过使用平均均匀球的 n 个副本来近似； 这个假设在某种程度上是一阶近似的自我补偿。