半导体的一些表征方法（论文学习）

半导体的一些表征方法

一、扫描隧道显微镜 (STM)
扫描隧道显微镜是一种扫描探针显微术工具，扫描隧道显微镜可以让科学家观察和定位单个原子，它具有比它的同类原子力显微镜更加高的分辨率。此外，扫描隧道显微镜在低温下（4K）可以利用探针尖端精确操纵原子，因此它在纳米科技既是重要的测量工具又是加工工具。STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质，在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景，被国际科学界公认为20世纪80年代世界十大科技成就之一。

扫描隧道显微镜
工作原理为：当原子尺度的针尖在不到一个纳米的高度上扫描样品时，此处电子云重叠，外加一电压（2mV~2V），针尖与样品之间产生隧道效应而有电子逸出，形成隧道电流。电流强度和针尖与样品间的距离有函数关系，当探针沿物质表面按给定高度扫描时，因样品表面原子凹凸不平，使探针与物质表面间的距离不断发生改变，从而引起电流不断发生改变。将电流的这种改变图像化即可显示出原子水平的凹凸形态。
二、原子力显微镜（AFM）
由于扫描隧道显微镜(STM)在使用中存在一些不足，瑞士苏黎世实验室的科学家 经过不断努力，研制出了更先进的原子力显微镜。它打破了STM只能对导体进行检测的局限性，可以进一步完成对半导体和绝缘体的检测，同时对检测环境的适应能力也得到加强，在真空、大气甚至液体环境下也可稳定地工作。AFM通过扫描探针不仅可以对材料表面进行原子级别的形貌观测，还可以表征表面电子来反映材料的物理特性，该发明迅速成为材料表面分析领域中最重要的成果之一。
AFM的两个关键部件是扫描管和悬臂下的探针，为了获得样品表面的形貌信息，扫描管会控制探针在距离样品表面很近的范围内移动，探针会产生一个反馈信号来表示随着探针与样品表面距离的不同而产生的相互作用的大小。根据不同的反馈物理量， AFM有不同的工作模式，如表所示：

不同物理量对应的成像模式
例如Bruker AFM࿰