VGS

总结：VGS做场氧就可以。

场氧后腐蚀掉，然后再栅氧，光刻出图形，测试得结果。场氧后得腐蚀把做的场氧全部腐蚀掉，此时如果炉子有颗粒等，会造成表面缺陷增加，影响到栅氧，此时的VGS就容易不合格，以上就将场氧栅氧一次性验证。

外延层越薄，VGS合格率越低。