假片漂洗

多晶假片漂洗，用氢氟酸加硝酸，去除多晶，多晶下面的氧化层也会被腐蚀掉，而裸硅也不安全，会被硝酸氧化，氢氟酸再把氧化层刻蚀掉。以上造成多晶漂洗难以实现，难免有氧化层甚至裸硅被腐蚀掉。提出的解决方案就是定时关注漂洗状态，到氧化层了就要慎重，既要漂洗干净不残留多晶，又要保留一定的氧化层。

VGS样片已经做到1612/1651的水平，可以通过显微镜看到栅氧时候的缺陷，如果是划伤类型，则是几个小黑点成一条线。