Matlab读取Zygo干涉仪dat数据文件 光学检测加工（明码需另付费）

本程序支持在Matlab中读取Zygo干涉仪/轮廓仪（MetroPro或Mx）的.dat测量文件。 

Zygo干涉仪和轮廓仪

 

一、结果图

直接上结果对比图。图为MetroPro和Matlab分别对同一个dat文件进行读取的对比结果，展示了本代码能在Matlab中准确读取Zygo测的面形图（Surface/Wavefront Map）和示例条纹图（Intensity Map），并与MetroPro读取的一样。

Matlab读取的结果与MetroPro读取的结果一样

 

 二、程序简介

本程序能完整读取.dat文件中所包含的137个参数，包括：干涉图（IntensityData，单位：灰度等级）、相位/面形数据（PhaseData，单位：λ）、干涉图像素标定（pixel_height和pixel_width）、测试波长（wavelength_in，单位：m）、波长调谐范围（tune_range，单位：Hz）等等（面形的PV是自己算的），如下图所示：

相位/面形数据（PhaseData）（单位：λ），可用于后续数据处理，如：计算面形PV、RMS、梯度和滤波等：

干涉图（IntensityData）（单位：灰度等级），可用于对比度计算等后续处理：

 三、程序包

本程序包含4个文件，分别为：主程序、破译程序、测试文件和一张截图，其中“破译程序”为.p文件，但这不妨碍从主程序中获到上述的137个参数。

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最近更新：

2022.05.19

据已购买的用户反映，不同型号的Zygo设备工作波长（λ）不一样（例如：632.8nm、1106nm、1053nm等），所以在比较不同型号的Zygo设备测出的.dat文件时，面形PV以nm为单位进行比较比较直观，转换关系为：PV(nm)=PV(λ) × λ。有些用户购买代码后，因对Matlab不熟，不会从读取到的137个参数中调取设备的工作波长λ信息。为方便大家使用，我们在面形图中给PV和RMS值添加了以nm为单位的数据，供大家参考：

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