时域采样与频域采样实验报告_ZYGO DynaPhase 激光干涉仪瞬态采样模式

本文介绍了ZYGO DynaPhase激光干涉仪的瞬态采样模式,该模式利用高速微秒级快门去除环境扰动影响,通过倾斜条纹载波法在单帧干涉图中解算相位信息,以牺牲精度和分辨率换取速度,提高了应对环境扰动的能力。DynaPhase方案通过频域滤波实现去直流存交流,校准高次像差,确保在极端条件下仍能进行精确测量。ZYGO的DynaFiz型号提供了全面的动态采样和记录功能,适用于实时控制和流场分析。
摘要由CSDN通过智能技术生成

某神说的,"天下武功无坚不摧,唯快不破"。快到极致,总是会有神奇发生。

在菲索式激光干涉测量中,经典的相移采样模式,会有一个大约百毫秒过程。在这个过程中,如果由于振动,样品发生了微小的移动;或者测试环境有了空气扰动;都会对测量产生影响。

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如图,分别放置在两个普通桌面上的主机和样品,干涉测量会受到振动和空气扰动的影响。

上周小Z介绍了 ZYGO 抗振移相专利技术 QPSI™,它是基于经典相移模式,通过算法修正振动带来的影响;其采样过程优化后,仍然是毫秒量级。如果把QPSI比作“修内力”的“气宗”,那瞬态采样模式,就可算得上“重招式”的“剑宗“了。

瞬态采样模式,讲究的就是一个"快"字。整个采样过程只取一帧干涉条纹图,并且使用相对高速的微秒级快门,这样在一瞬间能“凝固”住干涉腔的状态,去除环境扰动对采样带来的影响。

接下来的问题就是,这一幅干涉条纹图是如何解算出相位信息呢?

当前市场上,主要有两种方式,基于倾斜条纹载波法,以及偏振移相方式。这两种方式都可以实现单帧干

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