Zygo干涉仪面形滤波详解

光学码农

已于 2023-05-28 17:14:52 修改

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分类专栏：光学文献文章标签：算法图像处理开发语言

于 2023-05-25 05:02:00 首次发布

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1. Zygo MetroPro滤波面板

2. Zygo MetroPro滤波面板功能详解

1. Zygo MetroPro滤波面板

Zygo干涉仪/轮廓仪的滤波功能可覆盖日常需求，Zygo MetroPro软件提供：均值、中值、2σ、FFT自动、FFT固定、高斯样条（Gauss Spline）、高斯样条自动、鲁棒高斯样条（Robust Gaussian Spline）和鲁棒高斯样条自动等滤波算法。本文主要介绍MetroPro软件“滤波控制器”中各项参数的意义、使用方法和各滤波器之间的区别。

打开Zygo MetroPro软件-Analyze Cntrl面板：

在Analyze Controls面板中，有下图所示的滤波器控制面板：

2. Zygo MetroPro滤波面板功能详解

滤波面板中各功能详解如下：

Filter

数据滤波激活选项。滤波是用来突出测试部件的粗糙度（高频率成分）或波纹度（低频率成分）。
滤波控制面板在 "map "和 "profile"数据窗口中都可用。该功能下的可选择项有：Off（关闭）、Low Pass（低通），High Pass（高通），Band Pass（带通）和Band Reject（带阻）。滤波的影响因Filter Type（滤波类型）和Filter window size（滤波窗口大小）控制器的设置而有所不同。关闭时，数据过滤被禁用、所有其他滤波控制器都被忽略。滤波控制器可以在表面/波前图（T&R）窗口和测试窗口中都有滤波控制。

原始数据中的低、中、高频率成分

请参考下面关于滤波控制设置的描述：

低通：允许低空间频率成分通过滤波器；粗糙度被去除。它的影响由滤波器类型控制决定：当选择“FFT 固定”滤波器时，截止点由Filter High Wavelen或Filter High Freq控制决定。
高通：允许高空间频率成分通过滤波器；波纹度被去除。它的影响由滤波器类型控制决定：当选择“FFT 固定”滤波器时，截止点由Filter Low Wavelen或Filter Low Freq控制决定。
带通：通过位于两个截止值之间的空间频率成分；滤波器类型必须设置为“FFT 自动”或“FFT 固定”。当选择“FFT 固定”滤波器时，较低的截止值由Filter Low Wavelen（或Freq）控制决定，较高的截止值由Filter High Wavelen（或Freq）控制决定。
带阻：可以去除位于两个截止值之间的空间频率成分；滤波器类型必须设置为“FFT 自动”或“FFT 固定”。当选择“FFT 固定”滤波器时，较低的截止值由Filter Low Wavelen（或Freq）控制决定，较高的截止值由Filter High Wavelen（或Freq）控制决定。

Filter Type

当滤波选项被激活时，选择滤波算法。

滤波算法的选择有：均值滤波、中值滤波、2σ滤波、FFT自动滤波、FFT固定滤波、高斯样条滤波（Gauss Spline）、高斯样条自动滤波、鲁棒高斯样条滤波（Robust Gaussian Spline）、鲁棒高斯样条自动滤波。

谨慎使用滤波，虽然滤波可以帮助隔离频率，但它会修改整个数据集，而且对边缘数据的处理可能不一致。

均值滤波：使用每个滤波窗中的所有有效数据点（由Filter Window Size控制决定）并对其进行平均。然后用平均值来替换滤波窗中心的数据点。这些平均值被用来生成一个新的数据阵列。均值滤波是Filter Type中最快的。当使用时，滤波器的Filter High/Low Wavelen (或 Freq)控制被忽略。
中值滤波：中值是指当各点从大到小排序时，中间点的数值；使用每个滤波窗中所有有效数据点的中值，然后，中值被用来替换滤波窗中心的数据点。这些中值被用来生成一个新的数据阵列。中值滤波比均值算法更好地保留了边缘细节。当使用时，滤波器的Filter High/Low Wavelen (或 Freq)控制被忽略。
2σ滤波：使用每个滤波窗中均方根值的2倍以内的数据点，而忽略超出这个范围的数据值。在2σ范围内的点被平均，然后用这个平均值来替换滤波窗中心的数据点。这些平均值被用来生成一个新的数据阵列。当使用时，滤波器的Filter High/Low Wavelen (或 Freq)控制被忽略。
FFT自动滤波和FFT固定滤波：使用快速傅里叶变换算法；此时Filter Window Size控制器被忽略。“FFT自动”根据测试数据自动选择滤波器的截止点；它应该只作为一个开始。“FFT固定”设置的滤波器截止点是基于Filter High/Low Wavelen (或 Freq)控制器中的数字设置滤波器截止点。如果使用FFT滤波、必须对仪器进行校准。
高斯样条滤波和鲁棒高斯样条滤波：通常缺陷会有不同大小（若干波长）。高斯样条滤波器增强了分离缺陷大小的能力，并能独立观察它们。这些滤波器保留了数据的原始拟合的细节，导致更少的失真。它们使保持完整的峰谷失真，同时消除极端失真。鲁棒高斯样条滤波器能更好地处理末端区域并消除异常值。一般来说，这两种样条滤波器都比传统的FFT滤波器计算得快。为了使 "样条 "滤波器正常工作，滤波器控制必须设置为低通、高通或带通，而且滤波器的Wavelen (或 Freq)控制必须在适当的地方输入低值和/或高值。样条的Beaton Coeff和张力控制（Spline Tension）有默认设置，在使用花键滤波器时不应该改变。高斯样条自动和鲁棒高斯样条自动：MetroPro软件任意设置一个截止频率作为起点。