芯片破壁者（九）：荷兰半导体明珠ASML是如何炼成的？

在《光刻技术的“鬼斧”之变》中，我们已经粗略地回顾了光刻机产业的发展史。在上世纪残酷的光刻机淘汰赛中，1984年最后登上光刻机舞台的荷兰光刻机公司ASML（全称Advanced Semiconductor Material Lithography，先进半导体材料光刻公司），成为最后的胜利者。

直到今天，ASML仍然是光刻机企业当中的翘楚，而且是世界上唯一能够生产最先进EUV光刻机的制造商。这个被誉为半导体皇冠上明珠的ASML，对于芯片制造产业来说到底有多重要呢？用ASML总裁彼得·温宁克在2017年接受《天下》杂志专访时说的一句话就是：

“如果我们交不出EUV，摩尔定律就会从此停止。”

目前，摩尔定律的极限已实现5nm制程，接近3nm、2nm制程工艺，想要实现这一制程节点，就一定要用到荷兰ASML的EUV光刻机。

2019年，ASML一共销售了229台光刻机，其中EUV售出26台。即使每一台的售价高达1.2亿美元，却依然是全球顶尖芯片制造商争先订购的抢手货。所以，这26台EUV光刻机的营收已经占到ASML全部营收的三分之一，预计随着芯片制造商的换代升级，2025年将增长到四分之三。

ASML如何从飞利浦的一家不起眼的合资公司，成长为可以左右全球芯片产业格局的光刻机巨擘？到底是什么原因使得身处欧洲小国荷兰的ASML取得如此巨大的成功，成为我们值得去回顾和学习的重要经验。

两次关键选择，后进生ASML的艰难上位

如果了解光刻技术的发展史，你就会知道光刻技术的原理并不复杂，还在微米制程时代的芯片产业对于光刻机的要求并不高。七十年代那个时候，就连英特尔也能买来各种零件，自己组装光刻机。

不过，光刻机的专业化很快成为主流趋势。

（尼康1980年推出的光刻机NSR-1010G）

在八十年代初，占据光刻机主要市场的还是美国的GCA、日本的尼康。1980年，尼康推出了商用的步进式光刻机Stepper，随后逐渐取代GCA，成为80年代光刻机产业的翘楚。

1984年，ASML由荷兰飞利浦公司与一家荷兰芯片设备代理商 ASMI合资成立，此后就一直专注从事光刻机设备的研发和生产。

ASML虽然有飞利浦的背景，但并没有含着金钥匙出生。成立之初，ASML只有31名员工，办公地点也仅是飞利浦总部外面空地上的一排简易厂房，这些至今被人们当做ASML传奇的开篇而津津乐道。当时，ASML面临自身技术落后、市场竞争激烈、资金不足等诸多难题。

不过，ASML一开始就本着“初生牛犊不怕虎”的劲头，成立第一年就克服种种技术困难，推出了第一代的步进式扫描光刻机PAS2000，获得了市场初步认可，也让ASML得以生存下去。