Wafer的T7 Code是什么,怎么来的

1、T7 Code是什么

在半导体Cim系统中,waferstart 业务需要支持 Sorter 读取 Wafer 的 T7 Code,与 MES 的 Wafer ID 进行绑定,以便向 前追溯 Wafer 历史,那么问题来了,T7code 是什么

Wafer的T7 Code是一种背面刻号,用于标识双面抛光的晶圆。这种标记采用二维矩阵代码符号,适用于各种尺寸的晶圆,不仅限于450mm无缺口晶圆7。T7 Code是衬底来料背面通常会有的供应商刻的追溯ID,这是一串数字和字母组成的流水码。根据SEMI T7-0302标准,这种数据矩阵代码符号的位置和尺寸都有具体的规定。因此,Wafer的T7 Code是一种重要的追溯标识,通过视觉识别技术可以实现对晶圆的自动识别和追踪。 它长这样

所有SEMI Data Matrix 二维条码都有8行乘32列。二维条码宽度为1mm, 高度为4mm。

450mm晶圆的T7code怎么玩的呢

450mm无缺口晶圆片标准化已经讨论一年多。在G450C联盟的推动下,提出的改变将改善晶圆的对称性,但更重要的是,增加晶圆表面积的利用率。国际抛光晶圆和国际450mm晶圆工作组(TF)通过投票5604增

### 半导体制造中的 Wafer BINAA 和 GDC #### 定义及作用 Wafer BINAA (Backside Nitride Anti-Reflective Coating Application) 是指在晶圆背面涂覆氮化物抗反射涂层的过程。这一过程有助于减少光刻过程中光线的反射,提高图案转移的质量和精度[^1]。 ```python def apply_binna(wafer): """ 应用于wafer背面的氮化物抗反射涂层处理函数 参数: wafer : 晶圆对象 返回: 处理后的晶圆对象 """ # 假设这里是具体的BINAA工艺实现细节 processed_wafer = perform_BINAA_process(wafer) return processed_wafer ``` GDC (Gas Distribution Control System),即气体分配控制系统,在半导体制造中起着至关重要的角色。该系统负责精确控制反应腔室内各种工艺气体的比例、流量以及压力等参数,确保化学气相沉积(CVD)或其他依赖于气体环境的工艺能够稳定高效地运行[^2]。 ```python class GasDistributionControlSystem: def __init__(self, gas_types, flow_rates, pressures): self.gas_types = gas_types self.flow_rates = flow_rates self.pressures = pressures def control_gas_distribution(self): """ 控制并调整气体分布的方法 """ adjust_gases(self.gas_types, self.flow_rates, self.pressures) gdc_system = GasDistributionControlSystem(['Oxygen', 'Hydrogen'], [100, 50], [760, 380]) gdc_system.control_gas_distribution() ``` 通过上述两个技术的应用,可以在很大程度上提升半导体器件性能的一致性和可靠性,满足现代电子产品的严格要求。
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