再论半导体FDC系统

 一、FDC的定义与作用

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FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）是一种用于实时监控和分析生产过程中设备运行数据的技术。它在半导体制造中广泛应用，主要作用包括：

1. 故障检测：实时监测设备运行状态，快速识别异常。

2. 数据收集与分析：收集设备传感器数据，分析故障原因。

3. 质量控制：通过异常检测减少不良品的产生。

4. 预测性维护：提前发现潜在设备故障，优化维护计划。