SECS/GEM是由国际半导体设备连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。被定义为制造设备实现通讯和控制的一般模型。一般来说,SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境,来让工厂软件能够控制并监视制造设备。
在实现SECS/GEM标准的工厂内,存在主机和设备这两方。由制造商(工厂)运行与设备接口建立通讯的主机软件。主机无需遵守完整的连接性标准,因为它只设定设备的预期行为。不过,若要使用接口,主机必须进行主机端通讯。SECS/GEM为每条可能的主机信息设定了清晰的设备预期行为。
虽然SECS/GEM已经挺有历史,但是在国内没有优秀的产品,金南瓜 解决方案让你的设备稳定及流畅。
这方面的资料太少了,而且领域性太强。这里面涉及到的半导体设备相关、网络相关、软件相关、工厂业务的内容等等,太多了,如果你是从事纯软件开发的人想要涉足这块内容还是需要化费一定精力的。
里面涉及设备的运行以及工艺问题,如果刚刚入门的人来说,太过于艰难了。
SECS/GEM介绍
SECS/GEM定义半导体生产设备与主机之间的通讯关系,通讯标准。SECS/GEM通讯规则如下图,FAB负责MES进行控制整个车间的生产。
设备不需要关心SECS/GEM的实现,里面集成Event和支持动态配置报表Report,数据上报等大量内容。
我们是毫秒级响应,不像一些SECS/GEM Driver。支持不全并且低效的处理方法。
你们需要添加新资料时候,随时可以自行添加。添加方法我们会指导得清清楚楚。配置内容保存在本地,无需担心开机与关机导致数据丢失问题。
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In many equipment control applications there is a need for a GEM host to modify one or a small set of
process parameters associated with a recipe. The number of parameters modified, frequency of modification (e.g.,
wafer-to-wafer, batch-to-batch, etc.), range of modification, etc., is largely a function of the equipment control
application. Utilizing GEM, at least two methods are envisioned for modifying process parameters on a tool. Wi