尘埃粒子计数器
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尘埃粒子计数器使用规则
北京中邦兴业
这个作者很懒,什么都没留下…
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半导体制造中的压缩气体及其高压扩散器如何选择 北京中邦兴业
在半导体制造的复杂舞蹈中,压缩气体是无声的编排者,精确地编排每一步——它们的特殊用途需要严格控制纯度和条件,以满足 ISO 8573 的严格标准,使其成为当今现代 IC 创建不可或缺的一部分。#高考起航梦想生活#它涉及在压缩气体管路和粒子计数器之间牢固地连接 HPD,确保紧密的配件和正确的气流方向。蚀刻:SF6 和 NF3 等气体通过等离子体和反应离子蚀刻在晶圆上蚀刻复杂的图案,精确地去除不需要的材料。光刻支持:压缩气体可保持清洁、稳定的环境,并有助于气动系统,这对于光刻过程中的精确机械运动至关重要。原创 2024-06-05 14:56:31 · 353 阅读 · 0 评论 -
半导体行业:悬浮颗粒物监测 lighthouse激光尘埃粒子计数器应用
这些系统提供早期检测、警报和趋势分析,使您能够立即采取行动,防止污染影响您的产量和产品质量。在这些步骤中,晶圆会接触到各种化学品、气体和环境,使其极易受到各种类型的颗粒污染——即使是最微小的颗粒也会对蚀刻电路图案造成严重破坏——导致良率降低和制造成本增加。增加缺陷密度:颗粒的存在会导致电路图案中的随机缺陷,从而导致最终产品中的缺陷密度更高。受污染的化学品、气体或水系统可能导致设备故障和计划外停机,进一步阻碍生产力和盈利能力。代价高昂的返工和报废:受污染的晶圆通常需要返工,或者在某些情况下需要完全报废。原创 2024-05-17 13:56:56 · 305 阅读 · 0 评论 -
【选型推荐】洁净室( 区) 悬浮粒子的测试方法及仪器选型
基于假设,被采样的洁净实验室所有采样点悬浮粒子呈正态分布,采样点数量在大于1 且小于等于9 的情况下,需计算95%( UCL) , 95% 置信上限UCL 计算公式: 95%UCL = M + t × ( s /n) 0. 5 式中: M 为洁净室的平均粒子浓度的总均值;按附录 A 完成检测后,每个采样点单次采样量的粒子浓度(以每立方米的粒子数目表示)不应超过表 1 中相应粒径的浓度限值或表 E.1 中相应粒径的非整数等级的浓度限值。一个有效的环境监测体系是能反映洁净区内的粒子和微生物的真实水平。原创 2024-05-14 15:04:55 · 937 阅读 · 0 评论 -
生物安全柜检测与验证标准指南及验证设备选型建议
北京中邦兴业科技有限公司是一家国家高新技术企业、专精特新企业,专注于为洁净行业提供洁净环境整体解决方案的全方位解决方案服务商,为生物制药、集成电路、芯片、半导体、新能源、人工智能、食品、化妆品、精密仪器、航空航天、动物房、实验室、手术室等高端洁净行业,提供一站式洁净间建造/改造、在线环境监控系统安装、暖通空调控制系统安装等工程项目、检测验证服务等,并与国内外数百家知名企业建立合作,先后交付了生物医药和电子产业客户的上千个配套项目。首先,我们先区分和了解下生物安全柜有3个等级,分别为I级、II级和III级。原创 2024-04-25 11:24:36 · 798 阅读 · 0 评论 -
药厂洁净区环境监测悬浮粒子 浮游菌监测注意事项 北京中邦兴业
(3)动态采样时,对表面和操作人员的监测,应当在关键操作完成后进行。Ø 采样点:表面微生物监测的取样点数应依下列因素确定:(1)洁净区的大小(2)设备、管路等的复杂程度(3)生产活动的重要性(4)易受污染的部位等。3.5.3表面微生物。随着GMP对药品安全生产要求的不断提高,质量管理体系需要不断加强药厂洁净区环境监测,因此面对不断提高的环境质量要求,质量管理部门应加深对环境监测的质量认识,掌握环境监测的技术手段,定期评估环境监测程序的有效性和完整性,并且对环境监测数据进行趋势分析以寻找可以更好控制的区域。原创 2024-04-19 13:58:11 · 659 阅读 · 0 评论 -
洁净室空气颗粒物检测-激光尘埃粒子计数器如何选型 北京中邦兴业
当粒子通过激光时,光电探测器通过粒子散射的光量来确定粒子的大小。与远程粒子计数器不同,便携式粒子计数器不需要已建立的基础设施,但它们也提供了与现有系统集成的选项。由于便携式粒子计数器的灵活性和适应性,它们通常比远程粒子计数器或手持式粒子计数器更昂贵,但它是洁净室分类的理想选择。它们的内置真空可以产生更高的采样流量,因此它们可以更快的达成采样目标。空气颗粒是通过迫使空气通过颗粒计数器中的空腔来测量的,该计数器使用激光来测量和计数颗粒。●光电探测器-光电探测器是通过检测散射光的强度来确定通过激光的粒子的大小。原创 2024-04-16 11:31:03 · 655 阅读 · 0 评论 -
洁净环境监测相关法规指南汇总
B级洁净区(静态)的空气悬浮粒子的级别为ISO 5,同时包括表中两种粒径的悬浮粒子。应注意,监测系统的每个要素(活性微粒,非活性微粒和APS)的可靠性在单独来看时是有限的,不应单独视为无菌的指标。应注意,监测系统的每个要素(活性微粒,非活性微粒和APS)的可靠性在单独来看时是有限的,不应单独视为无菌的指标。成品批记录的审核应当包括环境监测的结果。(二)应当有批准的操作规程,用于原辅料、包装材料、中间产品、待包装产品和成品的取样、检查、检验以及产品的稳定性考察,必要时进行环境监测,以确保符合本规范的要求;原创 2024-03-26 11:56:17 · 670 阅读 · 0 评论 -
LIGHTHOUSE Apex RBP应用案例|汽车涂装行业 电动汽车电池制造行业的颗粒物监测首选
它不仅提升了汽车涂装行业、电池生产的质量和效率,还确保了生产过程的安全性和稳定性,为汽车涂装行业、电动汽车产业的可持续发展提供了有力支持。它不仅提供了全面、高精度的颗粒检测,而且能够轻松集成到现有的制造流程中,满足自动化需求,加强质量控制,确保电动汽车电池生产的安全性和效率。lighthouse凭借在半导体和制药制造领域的丰富经验,为汽车行业量身打造了Apex RBp系统,致力于帮助企业实现高效、可靠的颗粒检测与控制,确保生产线的稳定运行。颗粒污染造成的电池短路可能会导致热失控,即电池过热并可能起火。原创 2024-03-12 11:42:34 · 994 阅读 · 0 评论 -
ADC制剂生产过程中的微粒控制-隧道烘箱在线粒子监测系统 中邦兴业
正常情况下,腔室内各点温度值与设定值之间的误差均应在验证方案规定的范围之内,如USP 指出,对于运行温度高于250℃的干热灭菌、除热原系统,其灭菌腔室内空载热分布的可接受的合格范围为±15℃。生产过程中,严格按照APS规定执行各种干预,如出现破瓶碎瓶的情况,需要隔离物料和产品,等到生产结束后先进行WIP再开门,这一流程在ADC生产中尤其重要,因为ADC本身具有毒性,只有经过腔体内的WIP,让活性物质变成液体排放以后才可以开门操作。建立以后,如果发现异物,可以很快比对出异物的来源。原创 2024-02-27 14:02:47 · 766 阅读 · 0 评论 -
ApexRBp在线粒子传感器在电动汽车电池制造的应用
此外,ApexRBp的数据分析和报告功能还可以为制造商提供深入的洞察,帮助他们做出更加明智的决策,确保电池的安全性和质量。通过实施有效的颗粒物监测和控制措施,结合先进的技术和严格的行业标准,电动汽车电池制造商可以生产出更加安全、可靠的电池,为可持续交通的未来提供强大的动力。这些电池不仅是EV的心脏,更是推动其前行的核心动力。在电池的生产线上,从组件的制造到最终的封装,每一步都可能使电池暴露于颗粒污染的风险之中。此外,随着电池的老化,其内部组件的机械稳定性逐渐降低,进一步增加了受颗粒污染损害的风险。原创 2024-02-22 11:30:07 · 566 阅读 · 0 评论 -
尘埃粒子计数器在洁净室环境监测中的应用
激光和光学器件对数据的计数和尺寸精度至关重要,因此由于其灵敏度,应谨慎对待它们,过度振动、沉重的搬运和任何不当的搬运都可能导致激光错位。在洁净室中要监测的颗粒类型从0.1µm到20µm不等,或者在某些情况下,如汽车行业,高达100µm的较大颗粒可能会影响喷漆过程,导致缺陷和昂贵的返工。取样口是空气取样的地方。例如,如果您的房间分类为ISO 5,那么对于1m³的样品体积,尺寸≥0.5µm的颗粒不得超过3520个。然而,值得根据传感器的使用情况以及传感器的使用频率来考虑6个月的校准间隔,以避免超差校准的影响。原创 2024-02-20 11:16:03 · 938 阅读 · 0 评论 -
洁净室环境监测轮转系统lighthouse多路切换采样系统 中邦兴业
需要注意是,在长的采样管道中对5um以上等大的颗粒进行采样可能会导致明显的颗粒损失,因此顺序多路切换采样系统在药品GMP应用,用于监测5个位置的顺序多路切换采样系统将每五分钟对每个位置依次采样一次(如果粒子计数器采样时间设置为每个位置一分钟)。需要注意是,在长的采样管道中对5um以上等大的颗粒进行采样可能会导致明显的颗粒损失,因此顺序多路切换采样系统在药品GMP应用,用于监测5个位置的顺序多路切换采样系统将每五分钟对每个位置依次采样一次(如果粒子计数器采样时间设置为每个位置一分钟)。原创 2024-02-01 13:53:38 · 840 阅读 · 0 评论 -
洁净间级别确认和环境监测相关法规指南汇总
场地的环境监测与工艺监测计划构成整个污染控制策略(CCS)的一部分,用于监测旨在最大程度降低微生物和微粒污染风险的控制措施。应注意,监测系统的每个要素(活性微粒,非活性微粒和APS)的可靠性在单独来看时是有限的,不应单独视为无菌的指标。应注意,监测系统的每个要素(活性微粒,非活性微粒和APS)的可靠性在单独来看时是有限的,不应单独视为无菌的指标。(二)应当有批准的操作规程,用于原辅料、包装材料、中间产品、待包装产品和成品的取样、检查、检验以及产品的稳定性考察,必要时进行环境监测,以确保符合本规范的要求;原创 2024-01-03 11:13:24 · 580 阅读 · 0 评论 -
更具性价比的LIGHTHOUSE便携式粒子计数器ApexP3/P5
ApexP3/P5安全数据传输允许所有颗粒计数数据快速可靠地传输到USB闪存驱动器、计算机、设施监控系统或集成系统。ApexP3/P5采用内部自我诊断技术设计,可持续监测激光器的健康状况,确保颗粒计数数据的可靠性。在内置的5.7英寸彩色触摸屏、USB接口、外部打印机、网络服务器上查看ApexP3/P5数据,或将Modbus/TCP/IP与第三方软件应用程序通信。ApexP3/P5便携式粒子计数器6通道可选,最多可存储3000条粒子计数数据记录,其中配置数据库可存储50个采样和报告结果。适用于所有消毒程序。原创 2023-12-18 13:48:20 · 394 阅读 · 0 评论 -
Apex R5在线粒子计数器 制药企业在线粒子实时监测系统解决方案
这可能会影响背景光方面的光电探测器,并影响粒子计数器的精度Apex R5通过监测光电探测器的状态来解决这些风险,并将其状态报告给外部系统。这可能是特别有问题的,因为在工厂校准粒子计数器的海拔高度可能与监测时使用的海拔高度不同。由于粒子计数器的精度在很大程度上受到气流的影响,海拔高度的差异会影响粒子计数器的准确性。Apex R5远程粒子计数器通过提供先进的自我诊断和与外部计算机系统(如“设施监测系统”(FMS)或更具体地说“不可行粒子监测系统”)的通信,解决了超差校准的风险。原创 2023-11-10 15:25:01 · 180 阅读 · 0 评论 -
半导体制造中的液体污染控制-液体粒子计数器应用
在器件小型化和更大的模具尺寸时代,污染,特别是颗粒污染,会显著影响产量。这些评估确定了潜在的污染源,评估了污染后果的严重性,评估了发生污染事件的可能性,并计算了总体风险水平。通过采用结构化的风险评估方法,半导体制造商可以清楚地了解在什么地方监测液体污染,从而简化了令人生畏的污染控制任务。通过采用先进的监控解决方案和严格的污染控制措施,半导体制造商可以驾驭复杂的行业,保持高产量,并生产为我们的现代世界提供动力的顶级产品。半导体制造的历程始于硅片的生产。这些晶片是以硅为主的半导体材料的薄片,是集成电路的基础。原创 2023-10-31 15:14:07 · 76 阅读 · 0 评论 -
lighthouse VERTEX50对超纯水水质监测
其50nm尺寸范围内的高灵敏度是通过部分流激光技术实现的,该技术可实现准确和可验证的尺寸。它意味着水经过了最严格的净化过程,以消除所有形式的污染物,无论是有机的还是无机的,挥发性的还是非挥发性的,亲水性的还是疏水性的,甚至是溶解的气体。它经过了细致的测试过程来实现验证,确保了它的可靠性和准确性。Vertex50已获得在UPW系统中测量和检测≥50nm颗粒的资格,在50nm阈值下具有真正的灵敏度。这是一项巨大的成就,因为在如此微小的尺度上检测和监测颗粒物的能力对于保持最高水平的水纯度至关重要。原创 2023-10-17 14:16:26 · 322 阅读 · 0 评论 -
如何按照洁净区不同等级选择不同流量的粒子计数器设备?
01。原创 2023-10-11 11:02:08 · 200 阅读 · 0 评论 -
洁净室悬浮粒子:手持式、在线式、便携式粒子计数器如何选择呢?
对于那些需要频繁移动或抽查的情况来说,手持式粒子计数器是一种经济实惠的选择。几乎在任何情况下,便携式粒子计数器都可以在独立的空间中为您提供快速、准确的读数。在线粒子计数器是不为移动而设计的粒子计数器,它们不断将读数发送到外部源。您是否正在考虑为您的洁净室配备新的粒子计数器?手持式粒子计数器是一种小型粒子计数器,易于移动,可在洁净室中进行抽查。如果您需要在生产过程中进行环境监测,那么在线粒子计数器是您的最佳选择。便携式粒子计数器比手持式粒子计数器大,比在线粒子计数器更具移动性。每种计数器都有不同的适用场景。原创 2023-10-07 11:42:26 · 115 阅读 · 0 评论 -
解读:ISO 14644-21:2023《洁净室及相关受控环境:悬浮粒子采样》发布指导粒子采样!
药品洁净实验室环境监测结果是否满足微生物检测需求,直接决定检测结果的有效性准确性,进行药品微生物检测,必须对实验环境进行日常和定期监测,其内容包括非生物活性的空气悬浮粒子数及有生物活性的微生物监测。原创 2023-09-25 10:35:04 · 466 阅读 · 0 评论 -
「干货」洁净室悬浮粒子计数器全部常见型号参数汇总
我们的人体工程学设计轻巧的Lighthouse手持式3016-IAQ是市场上先进的手持式粒子计数器,其质量浓度模式的密度约为μg/ m3。Lighthouse手持式粒子计数器最多可提供6个粒径同时计数的通道,可在快速,易于阅读的彩色触摸屏上显示累积和差分粒子计数数据以及温度/相对湿度数据。可测量PM0.5,PM1.0,PM2.5,PM5.0,PM10.0大气质量及环境温湿度。原创 2023-09-20 16:33:46 · 557 阅读 · 0 评论 -
洁净室/净化车间:洁净等级划分及标准、检测方法及流程解读
单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面,水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面,截面上测点间距不应大于2m,测点数应不少于10个,均匀布置仪器用热球风速仪。(2)静压差的测定应从平面上最里面的房间,通常也就是洁净度级别最高的房间,与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定,直至测得最靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。沉降菌测定时,培养皿应布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点培养皿数。原创 2023-09-19 11:43:42 · 1217 阅读 · 0 评论 -
液体颗粒计数器如何选择!
这意味着,如果您的粒子计数器正在报告计数,则在您的超纯水系统中存在可检测的粒子计数。Lighthouse液体采样器的设计考虑到了功能,是集成的注射器采样器和光学颗粒计数系统,具有易于使用的基于Windows的软件界面。您的液体粒子计数器必须在您的位置进行校准,然后不要从该位置移动,具体取决于USP 。随着液体污染检测技术的飞速发展,液体粒子计数器由于计数速度快、准确度高、重复性好、操作简便且结果不受人为因素的影响,成为半导体等领域用于测量和监测液体样品中颗粒物浓度和径向分布的重要工具。原创 2023-09-14 14:02:42 · 86 阅读 · 0 评论 -
洁净在线监测系统-天文台日冕仪内洁净环境监测应用
因为将尘埃粒子计数器应用在天文台,做环境监测是一种全新的应用,通过在日冕仪上门预留取样孔,通过技术连接,实现粒子计数器对日冕仪内部的环境监测,同时完成了配套的温湿度、风速、风向的监测设备的安装,集成一套在线监测系统,通过中邦兴业自主研发的在线监测系统软件,实现对日冕仪内部环境的实时监测。EMS洁净室环境在线监测系统,是北京中邦兴业独立研发有自主知识产权的专业洁净室环境在线监测系统,具有中英文双操作界面,实时监控,远程控制,自动报警,曲线打印,审计追踪,手机端等功能,完美符合洁净室环境监测要求。原创 2023-09-11 11:43:54 · 103 阅读 · 0 评论 -
半导体与微电子洁净室检测重点-粒子计数器选择 北京中邦兴业
这些洁净室还装有极其精密和昂贵的设备,例如光刻,蚀刻,清洁,掺杂和切割机。晶圆厂的洁净室是其最重要的空间之一,因为必须在此环境中进行控制,以消除所有粉尘,这些粉尘经振动抑制并保持在狭窄的温度和湿度范围内。这款体积小巧、使用方便、质量轻便、全不锈钢外壳的大流量粒子计数器,有着三种不同流量可供选择,可以方便、快速、有效地检测净化环境中的悬浮粒子,是目前药厂,电子厂快速检测洁净室洁净度的首选产品。通常,压缩机或过滤器制造商建议使用过滤器去除颗粒和油脂,随着半导体级别上升,要测量小至0.1微米的颗粒,需要校准的。原创 2023-09-08 11:16:32 · 183 阅读 · 0 评论 -
众多行业适用的这款Lighthouse Apex Z便携粒子计数器有什么优势
ApexZ的设计不仅考虑到用户的易用性,而且易于清洁。我们理解洁净室消毒的需要,Apex Z是完全密封的耐化学性质的聚碳酸酯混合物,防护等级为IP54,可以在消毒时不用担心损坏设备。它的用途非常广泛,因为它不是为某个行业设计的,而是为用户设计的。它有长达11个小时的运行时间,它还可以只使用一块电池和一个外部充电器。ApexZ拥有不同颜色的状态指示灯手柄,即使在声音范围之外,也可以显而易见地了解其工作状态。ApexZ易于使用的样品设置,可以匹配当前的sop,减少丢失位置或采样错误参数的风险。原创 2023-05-23 14:45:58 · 622 阅读 · 0 评论 -
lighthouse尘埃粒子计数器3100/3350参数资料
SOLAIR 3350可以存储来自多达8个粒子通道的多达3000个粒子计数数据记录,并且可配置的配方数据库可以存储多达50个用于采样和报告的配方。可以存储来自多达8个粒子通道的多达3000个粒子计数数据记录,并且可配置的配方数据库可以存储多达50个用于采样和报告的配方。无论是在认证洁净室是否符合ISO标准、进行常规测试、计算压缩气体管线中的颗粒物、扫描高效空气过滤器是否泄漏、测试高效空气过滤器或测量TRH、DP或AV等环境参数,SOLAIR 3100便携式颗粒物计数器都是完成这项工作的正确工具。原创 2023-05-16 09:52:36 · 401 阅读 · 0 评论 -
洁净室压缩空气的气体采样需要用什么仪器
洁净室需要清洁,从表面、工具到洁净室的空气,根据洁净室的分类和应用,一切都需要保持一定的清洁度。在适当的压力下,粒子计数器能够维持适当的气流。下表概述了基于待采样压缩气体入口压力的正确HPD适配器调整,以保持进入颗粒计数器的理想流量,从而实现准确采样。在决定使用什么工具进行气体采样时,应该先了解自己的需求,然后了解粒子计数器或空气采样器所带来的好处。●密封的化学兼容外壳,用于在密集的洁净室清洁期间保护激光二极管和传感器。●首选不锈钢,但通常情况下,采样头和外壳的材料应无孔且易于擦拭和消毒。原创 2023-02-22 14:06:10 · 176 阅读 · 0 评论 -
在线尘埃粒子计数器的大气压力数值是多少
激光尘埃粒子计数器的采样流量是指单位时间内采集的空气体积量,采样流量越大,相同时间内采集的空气体积也越大,测试的数据越能够代表总体洁净度水平, 目前市面上的激光尘埃粒子计数器采样流量主要有:0.1CFM(2.83升/分钟)1.0CFM(28.3升/分钟)1.77cfm(50升/分钟)3.53cfm(100升/分钟),按2010版GMP规定,A级洁净车间用尘埃粒子计数器测试洁净度水平,要求每个采样点的zui少样本量为1立方米, 那么选用采样流量越大的尘埃粒子计数器,所用的时间也就越少。自净时间≤20min。原创 2022-12-26 14:37:19 · 389 阅读 · 0 评论 -
Lighthouse尘埃粒子计数器使用及消毒注意事项
关于Lighthouse粒子计数器管理粒子计数器管理是确保粒子计数器健康和数据完整性的关键过程。粒子计数器数据的准确性在受监管的行业中至关重要——应根据使用情况定期校准粒子计数器。制造商建议至少每年校准一次粒子计数器。在连续实时监测系统中使用远程粒子计数器的情况下,一些终端用户会更频繁地将仪器交给厂家进行校准。更频繁的校准是由数据驱动的,并且校准验证之间的间隔更短,以确保传感器在公差范围内。当在校准过程中发现粒子计数器不在公差范围内时,这些步骤管理对粒子计数器的影响。超出公差事件的问题是粒子计数器在使用时产原创 2022-12-22 10:19:17 · 273 阅读 · 0 评论 -
洁净间的环境监测项目与频次,看看你们的是否也一样?
风速及换气次数的确定还应满足:生产操作全部结束、操作人员撤出生产现场A级及需经1分钟自净,B级需经10分钟自净,C/D级均需经20分钟自净,自净后洁净区均能达到该级静态标准。在一个区域内应最少取样五次,每个取样点的取样次数应多于一次,而不同取样点的取样次数可以不同,并且每次取样量不得低于2.83L;C级区域静态为1次/每半年,动态为1次/每季度;监测标准:D级和C级室内进风口实测换气次数应符合规定:D级10-15次/h,C级15-25次/h,A级单向流风速0.36m/s-0.54m/s。原创 2022-12-19 14:55:40 · 741 阅读 · 0 评论 -
Remote 激光微粒计数器参数是什么
0.5 微米感应度和 0.1 立方英尺/分钟(2.83 行数/分钟)流速. 远程激光微粒计数器具有实时监测数据收集且每一点性价比极高. 采用外置式真空源, 小型远程微粒计数器提供了多种选择并能在有限的空间进行安装。远程激光微粒计数器与多功能监测管理系统完美地连接并通过脉冲输出 2 通道微粒计数数据。激光微粒计数器采用高品质的设计, 远程激光微粒计数器专为 7 天,24 小时不间断运作独创的。凭借过硬的质量标准,莱特浩斯开发了远程激光微粒计数器,采用了最新的光学微粒监测技术。美国LIGHTHOUSE。原创 2022-12-12 11:07:56 · 55 阅读 · 0 评论 -
医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法-北京中邦兴业分享
本标准参考了ISO 14644-1《洁净间以及相关环境控制第1部分:空气洁净度级别》和JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》而制定。本标准代替GB/T 16292-1996《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》。本标准与GB/T 16292-1996的主要区别为:—调整标准规定范围,本标准仅规定测试方法,不对洁净室(区)洁净等级进行评定;—取消了滤膜显微镜测试方法,改用激光粒子计数器方法;—增加了确定最少采样点数目的方法;—增加和提供了更新的资料性附录。本标准的附录A是规范性附录。本标准的附录B是资原创 2022-12-08 10:10:24 · 1856 阅读 · 1 评论