1.四步相移公式:
I
0
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
]
I_0(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)]
I0(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)]
I
1
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
+
π
/
2
]
I_1(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)+π/2]
I1(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)+π/2]
I
2
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
+
2
π
/
2
]
I_2(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)+2π/2]
I2(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)+2π/2]
I
3
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
+
3
π
/
2
]
I_3(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)+3π/2]
I3(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)+3π/2]
2.变形:
I
0
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
]
I_0(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)]
I0(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)]
I
1
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
]
I_1(x,y)=A(x,y)+B(x,y)sin[φ(x,y)]
I1(x,y)=A(x,y)+B(x,y)sin[φ(x,y)]
I
2
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
−
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
]
I_2(x,y)=A(x,y)-B(x,y)cos[φ(x,y)]
I2(x,y)=A(x,y)−B(x,y)cos[φ(x,y)]
I
3
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
−
B
(
x
,
y
)
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
]
I_3(x,y)=A(x,y)-B(x,y)sin[φ(x,y)]
I3(x,y)=A(x,y)−B(x,y)sin[φ(x,y)]
3.求解相位:
φ ( x , y ) = a r c t a n ( I 1 − I 3 I 0 − I 2 ) φ(x,y)=arctan(\frac{I_1-I_3}{I_0-I_2}) φ(x,y)=arctan(I0−I2I1−I3)
4.引入误差:
一般地,没有一个系统可以保证无限精确的相移,实际的相移量会和理想的有一个微小的差异,实际的相移为:
δ
i
′
=
δ
i
+
ε
i
δ_{i}^{'}=δ_i+\varepsilon_i
δi′=δi+εi
5.光强分布为:
I
0
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
]
I_0(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)]
I0(x,y)=A(x,y)+B(x,y)cos[φ(x,y)]
I
1
′
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
+
B
(
x
,
y
)
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
+
ε
1
]
I_{1}^{'}(x,y)=A(x,y)+B(x,y)sin[φ(x,y)+\varepsilon_1]
I1′(x,y)=A(x,y)+B(x,y)sin[φ(x,y)+ε1]
I
2
′
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
−
B
(
x
,
y
)
c
o
s
[
φ
(
x
,
y
)
+
ε
2
]
I_2^{'}(x,y)=A(x,y)-B(x,y)cos[φ(x,y)+\varepsilon_2]
I2′(x,y)=A(x,y)−B(x,y)cos[φ(x,y)+ε2]
I
3
′
(
x
,
y
)
=
A
(
x
,
y
)
−
B
(
x
,
y
)
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
+
ε
3
]
I_3^{'}(x,y)=A(x,y)-B(x,y)sin[φ(x,y)+\varepsilon_3]
I3′(x,y)=A(x,y)−B(x,y)sin[φ(x,y)+ε3]
则:
I
1
′
−
I
3
′
I
0
′
−
I
2
′
\frac{I_1^{'}-I_3^{'}}{I_0^{'}-I_2^{'}}
I0′−I2′I1′−I3′
=
A
+
B
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
+
ε
1
]
−
A
+
B
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
+
ε
3
]
A
+
B
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
]
−
A
+
B
s
i
n
[
φ
(
x
,
y
)
+
ε
2
]
= \frac{A +Bsin[φ(x,y)+\varepsilon_1]-A +Bsin[φ(x,y)+\varepsilon_3]}{A +Bsin[φ(x,y)]-A +Bsin[φ(x,y)+\varepsilon_2]}
=A+Bsin[φ(x,y)]−A+Bsin[φ(x,y)+ε2]A+Bsin[φ(x,y)+ε1]−A+Bsin[φ(x,y)+ε3]
=
s
i
n
φ
c
o
s
ε
1
+
c
o
s
φ
s
i
n
ε
1
+
s
i
n
φ
c
o
s
ε
3
+
c
o
s
φ
s
i
n
ε
3
c
o
s
φ
+
c
o
s
φ
c
o
s
ε
2
−
s
i
n
φ
s
i
n
ε
2
=\frac{sinφcos\varepsilon_1+cosφsin\varepsilon_1+sinφcos\varepsilon_3+cosφsin\varepsilon_3}{cosφ+cosφcos\varepsilon_2-sinφsin\varepsilon_2}
=cosφ+cosφcosε2−sinφsinε2sinφcosε1+cosφsinε1+sinφcosε3+cosφsinε3
=
s
i
n
φ
(
c
o
s
ε
1
+
c
o
s
ε
3
)
+
c
o
s
φ
(
s
i
n
ε
1
+
s
i
n
ε
3
)
c
o
s
(
φ
(
1
+
c
o
s
ε
2
)
−
s
i
n
φ
s
i
n
ε
2
=\frac{sinφ(cos\varepsilon_1+cos\varepsilon_3)+cosφ(sin\varepsilon_1+sin\varepsilon_3)}{cos(φ(1+cos\varepsilon_2)-sinφsin\varepsilon_2}
=cos(φ(1+cosε2)−sinφsinε2sinφ(cosε1+cosε3)+cosφ(sinε1+sinε3)
=
t
a
n
φ
(
c
o
s
ε
1
+
c
o
s
ε
3
)
+
(
s
i
n
ε
1
+
s
i
n
ε
3
)
1
+
c
o
s
ε
2
−
t
a
n
φ
s
i
n
ε
2
=\frac{tanφ(cos\varepsilon_1+cos\varepsilon_3)+(sin\varepsilon_1+sin\varepsilon_3)}{1+cos\varepsilon_2-tanφsin\varepsilon_2}
=1+cosε2−tanφsinε2tanφ(cosε1+cosε3)+(sinε1+sinε3)
其中,
ε
i
\varepsilon_i
εi一般较小,有
s
i
n
ε
i
≈
ε
,
c
o
s
ε
i
≈
1
sin\varepsilon_i\approx\varepsilon,cos\varepsilon_i\approx1
sinεi≈ε,cosεi≈1
则:
t a n φ = 2 ( I 1 ′ − I 3 ′ ) − ( ε 1 + ε 3 ) ( I 0 ′ − I 2 ′ ) 2 ( I 0 ′ − I 2 ′ ) + ε 2 ( I 1 ′ − I 3 ′ ) tanφ=\frac{2(I_1^{'}-I_3^{'})-(\varepsilon_1+\varepsilon_3)(I_0^{'}-I_2^{'})}{2(I_0^{'}-I_2^{'})+\varepsilon_2(I_1^{'}-I_3^{'})} tanφ=2(I0′−I2′)+ε2(I1′−I3′)2(I1′−I3′)−(ε1+ε3)(I0′−I2′)
即:
φ = a r c t a n 2 ( I 1 ′ − I 3 ′ ) − ( ε 1 + ε 3 ) ( I 0 ′ − I 2 ′ ) 2 ( I 0 ′ − I 2 ′ ) + ε 2 ( I 1 ′ − I 3 ′ ) φ=arctan\frac{2(I_1^{'}-I_3^{'})-(\varepsilon_1+\varepsilon_3)(I_0^{'}-I_2^{'})}{2(I_0^{'}-I_2^{'})+\varepsilon_2(I_1^{'}-I_3^{'})} φ=arctan2(I0′−I2′)+ε2(I1′−I3′)2(I1′−I3′)−(ε1+ε3)(I0′−I2′)
总结:
四步相移的核心方法是将干涉图间的相移量调整为π/2,从而在计算中消去直流项,约去常数,方便求解出相位值。有额外的相移量(误差)时,求解公式应作出调整(如最后一个公式)。如果使用原来的公式,求解出的相位会有偏差。
参考文献
[1]王吉元,田爱玲,王红军.四步相移干涉测量的相位补偿及仿真[J].西安工业学院学报, 2005, 25(1):5.DOI:10.3969/j.issn.1673-9965.2005.01.007.
[1]蔡长青,贺玲凤.基于四步相移的相位差提取方法[J].华南理工大学学报:自然科学版, 2011, 39(9):4.DOI:10.3969/j.issn.1000-565X.2011.09.016.