TFT LCD 的Array制程

最新推荐文章于 2024-04-07 14:24:18 发布
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本文详细介绍了TFT LCD的Array制程，包括M1 Gate电极、有源层、M2 源/漏电极、钝化保护层P-SiNx以及像素电极ITO的制造工艺流程，每一步都配以等效电路和位置示意图。

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一、Array制造工艺流程

 Array制造工艺流程图如上，其中包括了成膜工艺、黄光工艺、刻蚀工艺、剥离工艺。

二、M1 Gate电极制程 

 这一步其等效电路如图所示。

 Gate电极在TFT中的位置，如下图所。

 三、有源层制程

有源层制程示意图如下图所示。

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