自主国产化又一突破！东智EHM实现半导体行业设备的智能化运维和诊断

自主国产化又一突破！东智EHM实现半导体行业设备的智能化运维和诊断

作者：格创东智 曲宗福
摘要：近日，格创东智设备健康管理系统（以下简称东智EHM）在半导体行业生产设备上的应用效果明显，获得客户认可和推广。针对厂端CVD（化学气相沉积）PUMP的非计划停机问题，经过现场调研，1天内就完成了东智EHM旋转设备状态监测和故障智能诊断模块的部署。现场PUMP的表面温度、三轴高频振动数据，以每秒5万Hz的采样频率实时上传到东智EHM专有云，保障了振动信号的细微变化都可以被东智EHM专家系统识别分析。在1个多月的运行中，系统内置大数据算法有效识别了PUMP的劣化趋势和故障智能诊断，效果显著。同时该自主可控的产品的综合性能比国外同类产品优化1倍以上。除了半导体等高端制造业，该方案也可以广泛地应用在石化、矿山、冶金、能源、水处理等行业。

项目背景
半导体面板属于高端制造业，现场设备大多是日本、韩国等国外进口，设备数据采集成本高。同时连续型生产过程对设备稳定性依赖度高，停机损失大。厂房有15个足球场大，设备点巡检工作量大，存在设备缺陷发现不及时，易导致设备出现非计划停机，影响生产；以本次CVD制程中的PUMP为例，生产过程中会产生大量的固态粉尘，从而导致PUMP的卡死，目前由于缺乏有效的设备监测手段，设备容易出现非计划停机，每年近千万元的损失。

解决方案
由于设备现场空间密闭、侵入式的数据采集，会对原装设备、工艺造成不可预算的风险。衡量过