晶圆机械手-晶圆搬运机器人（半导体晶圆传送）

晶圆搬运机械手/机器人（真空3轴圆柱坐标型）特点：

·真空3轴圆柱坐标型机械手臂适用于真空腔室内的晶圆搬运

·手臂关节处使用磁流体密封装置

·真空密封：磁流体密封装置和波纹管

·提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器

·配备动作监视器

·控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

·S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

·手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

·晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式

·可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指

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