jel 晶圆搬运机械手,wafer robot

最新推荐文章于 2022-11-14 13:08:11 发布
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jel 晶圆搬运机械手wafer robot，SWCL,MCL,SVCL,STCL,SCL,JCL,GCL系列——分为单臂，双臂。使用环境在洁净间内的大气环境。
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式产品型号列表

产品型号列表：
SWCL3160CS
MCR3160C
SVCR3260
STCR4160SN
SCR3160CSN
JCR4400-400-AM
GCR4210等等

使用了JEL制造的伯努利原理机械手，可吸附减薄晶圆
采用了步进电机驱动，能够有效地降低耗电量有利于节能

衡鹏企业
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