本文介绍了晶圆搬运机械手，包括3轴、4轴和5轴的不同类型，如3轴圆柱坐标洁净机械手臂、防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂和5轴真空水平多关节型洁净机械手臂，这些机械手主要用于半导体晶圆的精准搬运。
晶圆搬运机械手又称JEL晶圆搬运机械臂/手,wafer robot/晶圆真空机械手,JEL 3轴/4轴/5轴晶圆机械臂。还分为3轴圆柱坐标洁净机械手臂/真空3轴圆柱坐标型机械手臂/防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂/5轴真空水平多关节型洁净机械手臂。
3轴圆柱坐标洁净机械手臂
| 对闭坏控制方式机械手臂加上疑似多轴规格 |
| 没有水平移动轴也能够搬运到并立配置的开闭安全门台，由于布局设计运用自如，降低成本 |
| 适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂 |
| 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题， 适用于2寸-300mm晶圆传输的新型单臂机械手臂 |
| 采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式， 有效地提高了机械手臂的可靠性 |
防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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