wafer robot-晶圆机器人又名防水圆柱坐标型晶圆机械手臂
wafer robot-晶圆机器人10个特点:
1.在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下,能够在酸性,碱性环境下搬运半导体晶圆
2.机器人手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
3.手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
4.零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
5.Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
6.配备动作监视器
7.控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
8.全轴采用2相步进电机
9.S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
10.晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式
代表产品型号:
SWCR3160CS-200-PM 升降轴最大行程:200mm
SWCR3160CS-300-PM 升降轴最大行程:300mm