1.晶圆搬运机器人结构 晶圆搬运机器人为四自由度PRRR型 2.MDH建模 采用MDH参数法建立运动学坐标系模型,采用该方法建立如图机械臂坐标系模型,得到如表所示的MDH参数表。 过程细节参看往期文章: 链接: 机器人学导论-运动学(1) 3.正运动学