使用激光可调湿蚀刻曲面实现无间隙微透镜阵列的通用

引言

近年来，飞秒激光直写技术已经成为制造任意纳米精度三维微结构的热门工具。飞秒激光诱导双光子聚合(TPP)允许在聚合物中形成微透镜或更复杂的3D微结构。然而，这种逐点过程受到低效率的限制。只有微结构或纳米壳的表层通过直接激光写入进行光聚合，内部通过紫外光固化，制造效率显著提高。

我们提出了一种在二氧化硅玻璃上快速制作大面积凹面微透镜结构的新方法，该方法可用作在聚合物上复制多层膜的成型模板。我们的方法不同于经典的fs激光直写过程。它包括毫秒级的原位激光曝光和氢氟酸湿法腐蚀工艺。聚焦的飞秒激光脉冲触发了一系列复杂的材料响应，改变了焦斑的物理和化学性质；然后在化学湿法蚀刻的帮助下，在那些激光改性的斑点中形成具有光滑表面的凹形弯曲结构。

实验

图1示意性地描绘了聚合物多层膜的制造过程，其包括两个步骤：生产具有凹形微结构的成型模板和在聚合物上复制凸形微透镜。为了制造成型模板，使用由钛宝石脉冲激光振荡器-放大器系统产生的飞秒激光束(波长= 800纳米；脉冲持续时间= 30fs；重复频率= 1千赫)，通过显微镜物镜聚焦到抛光的石英玻璃芯片表面。激光曝光点是逐点产生的。对于每个光斑，曝光时间由快速机械快门控制，激光功率由可变衰减器调节。激光曝光后，样品在室温下浸入5%氢氟酸溶液(用去离子水稀释)中。为了保证微结构的均匀性，在化学刻蚀过程中，采用超声波浴去除液固界面产生的气泡。制造过程可以通过配备有电荷耦合器件照相机的光学显微镜来监控。当光滑凹面成功制造时，样品用去离子水清洗并干燥。

用场