关于XPS表面测试吸附碳氧的研究-科学指南针

关于XPS测试吸附碳氧的简单知识分享

很多人第一次做xps测试拿到数据后会说，为啥我的样品不含有C-O测试出来的样品里面有很多C-O

这个问题是非常常见的。

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第一，大多数暴露在空气中的样品表面通常有一薄层含碳物质，这一层通常被称为外来碳。即使在大气中少量曝光也能产生这种薄膜。

不定碳通常由多种(相对较短的链，可能是聚合物[1])碳氢化合物组成，具有少量的单键和双键氧功能。

这种碳的来源一直存在争议。它在本质上似乎不是石墨的，而且在大多数现代高真空系统中，真空油不容易出现(像过去一样)[1,2,3,4]。

可能有一些证据表明，CO或CO2物种可能在XPS室[3]真空中原始表面逐渐出现碳的过程中起作用。它在绝缘表面的存在提供了一个方便的收费参考通过设置主要C 1 s谱线285.0 eV- 284.5 eV

相对应的文献如下：

[1] T.L. Barr, S. Seal, J. Vac. Sci. Technol. A 13(3) (1995) 1239.

[2] P. Swift, Surf. Interface Anal. 4 (1982) 47.

[3] D.J. Miller, M.C. Biesinger, N.S. McIntyre, Surf. Interface Anal. 33 (2002) 299.

[4] H. Piao, N.S. McIntyre, Surf. Interface Anal. 33 (2002) 591.Labels: Adventitious, carbon

从上述的文献综合来看&#