TEM成像流程简介

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仪器结构及原理概述

透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。

透射电子显微镜是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上（片状< 100 nm，颗粒< 2 um），电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。图片的明暗不同（黑白灰）与样品的原子序数、电子密度、厚度等相关。成像方式与光学显微镜相似，只是以电子代替光子，电磁透镜代替玻璃透镜，放大后的电子像在荧光屏上显示出来。

02

FEI Talos F200X简介

Talos F200X

主要技术指标：加速电压为200 KV，配备超亮度场发射电子枪。TEM模式下点分辨率0.25 nm，STEM模式分辨率为0.16 nm。配备有四探头EDS能谱仪，能量分辨率优于136 eV，对Mn-Kalpha和10kcps（输出），像素驻留时间低至10 us。

服务内容：广泛应用在物理、化学以及材料科学中，可以提供材料的物质结构以及成份的信息。