PDMS软光刻加工过程
PDMS软光刻可以划分为以下主要步骤:硅烷化模具的准备 PDMS和固化剂的比例与混合 脱气去除气泡 在模具上浇注PDMS PDMS烘烤 PDMS剥离模具 PDMS切割与打孔 PDMS键合1. 硅烷化模具的准备模具在第一次使用时,您必须使其具有疏水性。对于模具,您可以从一些企业购买或者自己加工。事实上,SU-8 模具的硅通常是非常亲水的,因此,PDMS与硅具有良好的亲和力,这种亲和力非常大以至于不太可能从硅上剥离 PDMS,并且您可以操作的是打破模具并回到模具加工过程的开始步骤