GEM300支持协议E5、E30、E37、E40、E87、E90、E94、E116等标准。
金南瓜拥有成熟的SECS/GEM300实施经验,为多个设备厂商提供设备支持GEM300,并且稳定运行于国内多个FAB厂。
GEM300满足APC、FDC和EAP的高性能要求,并且运行稳定。
设备无缝对接EAP系统,从OHT天车放料到生产过程中,顺畅自然。我们以毫秒级交互别为目标,并非友商能用就行的实施态度。
我们的客户设备有湿法、退火、气体沉淀、离子注入、外延等设备
满足FDC的高指标要求,大数据分析设备生产过程中的任何状态,包含大量的传感器,数千的传感器实时监控设备各项内容。通过大量的传感器反馈机制,设备快速的微调各项参数而保证持久稳定。FDC对于SDK的要求非常高,生产过程中时刻采集大量的数据,监控设备整体的实时情况
支持Run To Run使用场景,产品功能强大性与世界级接轨。
符合半导体设备安全设计考量,避免客户误操作导致的设备危险性动作问题。
数字孪生已经成为工业4.0最强有力的概念之一。通过整个制造和生产过程基于模型、实时、云回路监控、控制和优化的实现,数字孪生有助于达到实时集成制造的组织实施。
远程
主机可以最大限度地控制设备。
设备可能会限制当地操作员控制设备的能力,但这不是标准的要求。主机必须能够处理操作员在设备上调用的意外命令。
主机使用GEM远程命令来调用设备上的命令。
本地
操作者可以尽可能地控制设备。
主机可以完全访问信息。主机可以使用其他GEM特性(如收集事件、跟踪和状态数据收集)收集数据。
限制主机如何影响设备操作:
禁止启动处理(例如START)或导致物理移动的远程命令。在处理期间,还禁止影响处理的远程命令(停止、中止、暂停、恢复)。
允许使用其他不启动处理、不会导致物理移动或影响处理的远程命令。
在处理期间,禁止主机修改任何影响该进程的设备常数。
不影响当前运行进程的设备常数可以更改。
当不处理时,所有的设备常数都是可变的。