SECS/GEM300mm通讯协议概念

本文介绍了SECS/GEM300协议在半导体设备中的重要性,包括E5至E116等多个标准的支持。金南瓜公司提供成熟的实施服务,确保设备与EAP系统的无缝对接,实现毫秒级交互,适用于湿法、退火等工艺设备。同时,FDC的大数据分析功能监控设备状态,确保生产稳定性。文章还提及了Run To Run控制和数字孪生概念,强调了主机远程控制和本地操作员控制的平衡,以及设备安全设计的重要性。
摘要由CSDN通过智能技术生成

GEM300支持协议E5E30E37E40E87E90E94E116等标准。

金南瓜拥有成熟的SECS/GEM300实施经验,为多个设备厂商提供设备支持GEM300

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