Silvaco基础知识和GT栅帽高度变化对Cgs影响仿真

最新推荐文章于 2025-04-10 15:54:28 发布

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#芯片

本文介绍了通过Silvaco软件进行栅帽高度对Cgs影响的仿真过程。从学习资源、仿真流程、器件结构到结果分析，详细阐述了如何设置网格、区域、电极，并展示了随着栅帽高度增加，Cgs增大的趋势。总结部分鼓励读者深入学习Silvaco以提升仿真能力。

1 Silvaco学习了解渠道

Silvaco官网 silvaco.com
User’s manual，在软件安装包中基本会有。
Silvaco软件下的例子
书籍《半导体工艺和器件仿真软件Silvaco实例教程》

2 栅帽高度对Cgs影响仿真

2.1 仿真流程

1）网格设置
2）区域、电极、接触金属设置
3）计算模型和方法
4）求解
5）结果展示
6）高度改变的循环

2.2 器件结构

2.3 代码

#change GT size and CF trend
go internal
set length0 = 1 
set height = 0.5 
#height change from 0.5-0.75
set index = 0
loop steps = 5 

go atlas 

#mesh
mesh width=100
x.m l=0.0 s=0.25
x.m l=1 s=0.25
x.m l=1.5 s=0.25  
x.m l=2.5 s=0.15
x.m l=3 s=0.15
x.m l