光刻原理-偏振光（MATLAB仿真）（1）

光的偏振性质

对于在直角坐标系中沿$z$轴方向传播的光，其波矢（传播常数）$\mathbf{k}$也是沿着$z$轴方向。那么光的电场只有x和y两个分量。一般用电矢量端点所描绘的曲线的性质，定义光的偏振状态。平面波在x轴和y轴的分量可以表示为：$$E_x=A_{x}cos(wt-\mathbf{k}\cdot \mathbf{r}+{\varphi }_x)$$$$E_y=A_{y}cos(wt-\mathbf{k}\cdot \mathbf{r}+{\varphi }_y)$$其中的${\varphi }_x$和${\varphi }_y$为初相位。进行运算消除$wt-\mathbf{k}\cdot \mathbf{r}$的到下面方程：$$(\frac{E_x}{A_x}{)}^2+(\frac{E_y}{A_y}{)}^2-2\frac{E_x{E}_y}{A_x{A}_y}cos(\Delta \varphi )=si{n}^2(\Delta \varphi )\text{\hspace{1em}(公式1)}$$其中$\Delta \varphi ={\varphi }_y-{\varphi }_x$。这是一个一般椭圆方程。

线偏光

当$\Delta \varphi =m\pi ,其中m$=0,±1,±2,…时，公式一变为$$\frac{E_y}{E_x}=(-1{)}^m\frac{A_y}{A_x}$$此时电场在x-y平面上是一条斜率为$(-1{)}^m\frac{A_y}{A_x}$的直线。此时，电场矢量的端点在平面x-y中的变化轨迹是一条直线，电场矢量E垂直$z$轴，其分布如下图所示。