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光刻原理——数学基础
文章平均质量分 91
光刻的基础
棘。。背凉
这个作者很懒,什么都没留下…
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光刻原理--光的衍射
光的衍射惠更斯原理惠更斯-菲涅尔原理基尔霍夫衍射基尔霍夫衍射公式的应用基尔霍夫衍射公式的近似傍轴近似惠更斯原理惠更斯原理:认为光波面上的每一个点都可以看作是一个次波的中心,发出子波;在后一个时刻这些子波的包络面就是新的波面。如图,利用惠更斯原理能说明光的衍射现象的存在,但是无法确定衍射后光强的分布。惠更斯-菲涅尔原理惠更斯-菲涅尔原理将波阵面上的每一个面元看做次级源波,波场中任意一点的光场,是所有次级源波发出的次级波在该场点的相干叠加。如图按照惠更斯-菲涅尔原理,波面上的面元dS发出的子波,在空间P原创 2021-01-23 16:53:27 · 2443 阅读 · 0 评论 -
光刻原理—数学基础(2)
该原理参考Fundamental Principles of optical Lithography光的数学表示光刻中的波动方程光刻中的波动方程对于电场的指数表示来说,我们只是取其实部,所以指数上是负数还是正数都无所谓。所以对于传播在Z+Z^+Z+方向的平面波,我们可以这样表示其相量:U(P)=AeikzU(P)=Ae^{ikz}U(P)=Aeikz对于在任意方向r\boldsymbol{r}r上传播的光,其传播方向r\boldsymbol{r}r是原点到空间中任意一点(x,y,z)的方向向量,所以平原创 2021-01-20 19:23:14 · 732 阅读 · 1 评论 -
光刻原理—数学基础(1)
该原理参考Fundamental Principles of optical Lithography数学基础数学基础——旋度、散度、梯度旋度散度梯度拉普拉斯算符相关运算球坐标系下的旋度、散度、梯度旋度散度梯度拉普拉斯算符麦克斯韦方程和波动方程亥姆霍兹方程数学基础——旋度、散度、梯度旋度对于一个向量场F,其旋度表示为:∇×F(curlF)=(∂Fz∂y−∂Fy∂z)xˆ+(∂Fx∂z−∂Fz∂x)yˆ+(∂Fy∂x−∂Fx∂y)zˆ\nabla\times \boldsymbol{F}(curl \原创 2021-01-19 21:23:40 · 597 阅读 · 0 评论