光刻原理—数学基础（2）

该原理参考Fundamental Principles of optical Lithography

平面波

球坐标

在光刻中一般将$z$轴的方向看做是光轴，所以有光沿着$z$轴传播。为了方便计算，我们用$z$轴定义一个球坐标轴。定义$\theta$为光传播方向$\mathbf{r}$与$z$轴夹角，定义$\varphi$为$r-z$平面与x轴的夹角。所以方向余弦$$\alpha =sin\theta cos\varphi$$$$\beta =sin\theta sin\varphi$$$$\gamma =\sqrt{1-{\alpha }^2-{\beta }^2}=cos\varphi$$

平面波的波动方程

我们一般用电场$\mathbf{E}$来描述光，对于一束单色光的电场$\mathbf{E}$在任意时刻t和任意位置$\mathbf{P}$处被表示为$$\mathbf{E}(\mathbf{P},t)=A(\mathbf{P})cos(wt+\Phi (\mathbf{P}))=Re(\mathbf{U}(\mathbf{P})e^{-iwt})\text{\hspace{1em}(公式1)}$$平面波是指波阵面为平面的电磁波，波阵面是在同一时刻，由空间振动相位相同的点所组成的平面，即$\Phi (\mathbf{P})=$常数。对于在$z$轴上沿正方向传播的平面波来说，其波动方程与x，y无关，即有$$\{\begin{array}{l}\frac{\partial U_x}{\partial t}=0\\ \\ \frac{\partial U_y}{\partial t}=0\end{array}$$带入亥姆霍兹方程方程得$$\frac{{\partial }^{2}U(z)}{\partial z^2}+k^{2}U(z)=0$$解得$$U(P)=A{e}^{-ikz}$$对于电场的指数表示来说，我们只是取其实部，所以指数上是负数还是正数都无所谓。所以对于传播在$Z^{+}$方向,初相位为的平面波，我们可以这样表示其相量:$$U(P)=A{e}^{ikz}$$所以沿$z^{+}$方向传播的，初相位为0的平面波的波动方程为:$$E(z,t)=Re(U(P)e^{-iwt})=Acos(wt-kz)$$我们可以将光波看做有一定形状的波，这个形状的波以时间来传播。所以在空间中的任意位置和任意时间，光波的形状都是确定的，即任意位置和时间都有相同的电场即$wt-kz=$常数，换句话说有：$$z-z_0=\frac{w}{k}t\text{\hspace{1em}(公式2)}$$$z_0$是t=0时光波在$z$轴的位置。显然有光的传播速度$v=\frac{c}{n}=\frac{w}{k}$,又有$c=w\lambda /2\pi$,所以有$$k=w\sqrt{\mu \epsilon }=2\pi /\lambda$$对于在任意方向$\mathbf{r}$上传播的光，其传播方向$\mathbf{r}$是原点到空间中任意一点(x,y,z)的方向向量，所以平面波的电场相量被表示为：$$U(x,y,z)=A{e}^{i\mathbf{k}\cdot \mathbf{r}}=A{e}^{ik(\alpha x+\beta y+\gamma z)}$$其中$\alpha ,\beta ,\gamma$为方向余弦。
为了得到平面波时间和空间的关系，我们对其磁场求其对时间求导，然后带入公式2。考虑平面波沿$z$轴方向传播，则有$$\frac{\partial \mathbf{H}}{\partial t}=-\frac{w}{k}\frac{\partial \mathbf{H}}{\partial z}=-\frac{w}{k}(\frac{\partial H_x}{\partial z}\text{xˆ}+\frac{\partial H_y}{\partial z}\text{yˆ})\text{\hspace{1em}(公式3)}$$电场也有相似的等式。电场的旋度为$$\nabla \times \mathbf{E}=-\frac{\partial E_y}{\partial z}\text{xˆ}+\frac{\partial E_x}{\partial z}\text{yˆ}\text{\hspace{1em}(公式4)}$$将公式3和公式4带入重写的麦克斯韦方程$$\nabla \times \mathbf{E}+\mu \frac{\partial \mathbf{H}}{\partial t}=0$$得到$$(-\frac{\partial E_y}{\partial z}-\frac{w\mu }{k}\frac{\partial H_x}{\partial z})\text{xˆ}+(\frac{\partial E_x}{\partial z}-\frac{w\mu }{k}\frac{\partial H_y}{\partial z})\text{yˆ}=0$$所以有$$\{\begin{array}{l}-\frac{\partial E_y}{\partial z}-\frac{w\mu }{k}\frac{\partial H_x}{\partial z}=0\\ \\ \frac{\partial E_x}{\partial z}-\frac{w\mu }{k}\frac{\partial H_y}{\partial z}=0\end{array}$$解得$$E_y=-\frac{w\mu }{k}{H}_x=-\sqrt{\frac{\mu }{\epsilon }}{H}_x=-Z{H}_x,E_x=\frac{w\mu }{k}{H}_y=\sqrt{\frac{\mu }{\epsilon }}{H}_y=Z{H}_y\text{\hspace{1em}(公式5)}$$Z叫做介质的特性阻抗或本质阻抗。这是一个十分重要的结果，其表示对于在各向同性介质中传播的平面时谐波，它的电场等于它的磁场乘以一个常数，同时x方向上的磁场场与y轴上面的磁场有关，反之亦然。换句话说就是电场与磁场相互垂直。如果Z是一个实数，那么电场和磁场同相。

光强和坡印廷矢量

光强定义为坡印廷矢量(一段时间内的平均，一般是周期)的大小，即光在单位时间内，通过垂直光传播方向的单位面积的能量大小。坡印廷矢量S被定义为：$$\mathbf{S}=\mathbf{E}\times \mathbf{H}$$对于一个准单色时谐场，能够用下面的式子表示(欧拉公式)： E ( P , t ) = R e { U ( P ) e − i w t } = 1 2 [ U ( P ) e − i w t + U ∗ ( P ) e i w t ] \boldsymbol{E}(P,t)=Re\{\boldsymbol{U}(P)e^{-iwt}\}=\frac{1}{2}[\boldsymbol{U}(P)e^{-iwt}+\boldsymbol{U^*}(P)e^{iwt}] E(P,t)=Re{U(P)e−iwt}=21​[U(P)e−iwt+U∗(P)eiwt] H ( P , t ) = R e { V ( P ) e − i w t } = 1 2 [ V ( P ) e − i w t + V ∗ ( P ) e i w t ] \boldsymbol{H}(P,t)=Re\{\boldsymbol{V}(P)e^{-iwt}\}=\frac{1}{2}[\boldsymbol{V}(P)e^{-iwt}+\boldsymbol{V^*}(P)e^{iwt}] H(P,t)=Re{V(P)e−iwt}=21​[V(P)e−iwt+V∗(P)eiwt]$\ast$表示复共轭。所以坡印廷矢量可以写作$$\mathbf{S}=\mathbf{E}\times \mathbf{H}=\frac{1}{4}[\mathbf{U}\times \mathbf{V}{e}^{-2iwt}+{\mathbf{U}}^{\ast }\times \mathbf{V}+\mathbf{U}\times {\mathbf{V}}^{\ast }+{\mathbf{U}}^{\ast }\times {\mathbf{V}}^{\ast }{e}^{2iwt}]$$对坡印廷矢量在一段时间上取平均是容易的。当波的震荡周期足够长的时候，上式中的时间谐波项的平均值将为0，所以对坡印廷矢量取平均有： ⟨ S ⟩ = 1 4 [ U ∗ × V + U × V ∗ ] = 1 2 R e { U × V ∗ } ⟨ \boldsymbol{S}⟩=\frac{1}{4}[\boldsymbol{U^*}\times\boldsymbol{V}+\boldsymbol{U}\times\boldsymbol{V^*}]=\frac{1}{2}Re\{\boldsymbol{U}\times\boldsymbol{V^*}\} ⟨S⟩=41​[U∗×V+U×V∗]=21​Re{U×V∗}考虑在$z$轴上传播的单色平面波；磁场和电场垂直，它们同时垂直于传播方向，用公式5的结论可得：$$\mathbf{U}\times {\mathbf{V}}^{\ast }=(U_x{V}_y^{\ast }-U_y{V}_x^{\ast })\text{zˆ}=\frac{k}{w\mu }(U_x{U}_x^{\ast }-U_y{U}_y^{\ast })\text{zˆ}=\frac{k}{w\mu }|\mathbf{U}{|}^2\text{zˆ}=\frac{k}{w\mu }|\mathbf{A}{|}^2\text{zˆ}$$所以$$I=|⟨\mathbf{S}⟩|=\frac{n}{2c\mu }|A{|}^2=\frac{1}{2}\sqrt{\frac{\epsilon }{\mu }}|A{|}^2$$一般的透光介质都是无磁介质，其$\mu ={\mu }_0$，所以$1/2c{\mu }_0$是常数，我们常常忽略它,而A是场强E的振幅。光强一般被表示为$$I=n|E{|}^2$$

朗伯-比尔吸收定律

坡印廷矢量表示的是电磁能量密度的流动，但是我们真正想知道的是光强与介质之间如何作用。考虑单色平面波在一个复折射率为$\mathbf{n}$的均匀介质中传播。分离折射的实部和虚部有：$$E=A{e}^{ikz}=A{e}^{i2\pi \mathbf{n}z/\lambda }=A(e^{-2\pi \kappa z/\lambda })e^{i2\pi nz/\lambda }$$光强被重写为：$$I=n{A}^2(e^{-4\pi \kappa z/\lambda })=I_0{e}^{-\alpha z}$$上式即为朗伯-比尔定理，被经验证明在均匀介质中成立。其中$I_0=I(z=0)$,$\alpha$是介质的吸收系数，为$$\alpha =\frac{4\pi \kappa }{\lambda }$$对于弱吸收介质如光刻胶，这个吸收系数可以写作$$\alpha \approx \frac{\sigma Z_0}{n},其中Z_0=\sqrt{\frac{{\mu }_0}{{\epsilon }_0}}=376.73\Omega$$电磁波按介质导电率的比例将能量传递给介质的电子。