根据GDS 层和MASK层的对应关系请参考附件的表格和design rule 的 SMIC Mask Layer Mapping Table进行检查
检查的时候对照layout
检查尺寸和方位,各层金属及via层是否都在,使用的特殊层次,logo等。
poly的方向,14nm需要同一方向
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最新推荐文章于 2024-07-12 19:06:42 发布
根据GDS 层和MASK层的对应关系请参考附件的表格和design rule 的 SMIC Mask Layer Mapping Table进行检查
检查的时候对照layout
检查尺寸和方位,各层金属及via层是否都在,使用的特殊层次,logo等。
poly的方向,14nm需要同一方向