如何形成欧姆接触_金属与二维半导体材料的接触

金属与二维半导体的接触是非常重要的，接触的性质决定了器件的性能，是二维材料中研究的热点之一(Nat. Mater., 2015, 14, 1195-1205)。

金属半导体接触有两种：欧姆接触和肖特基接触。

欧姆接触：金属与半导体之间不存在势垒，载流子可以顺利的从金属流入半导体，也可以从半导体流入金属，对应的电流-电压曲线为一条直线，满足欧姆定律，对应斜率即为半导体的电导，金属与半导体的接触电阻可以忽略不计。

肖特基接触：金属与半导体之间存在势垒-肖特基势垒，分为对电子的势垒和对空穴的势垒两种情况。当存在肖特基势垒时，电流-电压曲线不再是一条直线，而是一条曲线。在电压比较低时，电流随电压增长较慢；当电压超过一定值时，电流显著变大。整个系统的电阻包含三部分：半导体的电阻、两个金属-半导体接触的接触电阻。金属-半导体的接触电阻是一个变化的值，与降落在势垒两端的电势差相关。金属-半导体-金属构成的结构相当于两个反向接触的肖特基二极管加上一个半导体的电阻。

二维半导体材料与金属接触也与常规半导体与金属接触一样面临类似的问题。对于制作光电导光电探测器、晶体管器件而言，欧姆接触是很有必要的；对于制作肖特基光电二极管，则肖特基接触是需要的。目前面临最大的问题是如何实现欧姆接触。实现欧姆接触对于研究材料本征的性质是至关重要的，如载流子迁移率等。金属与二维材料之间难以形成欧姆接触的原因在于二维材