Silvaco TCAD仿真2——Silvaco TCAD 档名

silvaco档名
1. Input file:：xxx.in   写的程序语法都放在里面，文字模式，可以用文字编辑器打开。

2.Output file：xxx.out   文字档，

3. Device structure file：xxx.str
4. Device lV or cv ... file： xxx.log --- raw date

5.lmage file: xxx.png

Silvaco 的文件系统，主要的文件类型：

• 输入文件“*.in”：DeckBuild 界面的仿真输入文件；
• 结构文件“*.str”：工艺仿真或器件编辑器得到的器件结构；
• 器件仿真结果文件“*.log”：器件仿真时存储仿真结果；
• 设置文件“*.set”：Tonyplot 的显示设置；
• 掩膜结构文件“*.lay”：光刻的掩膜信息；
• 提取的结果文件“*.dat”：提取得到的数据；
• “*.lib”：C--编译器编写的函数文件
• 其他文件类型：“*.sepc”，“*.opt”…

simflags
1.指定版本:

go <simulator> simflags="-V x.xx.x.R"

For example:

go athena simflags="-V5.16.3.R”

2.Mutil-CPU:

go <simulator> simflags="-P x”"(athena bca implant process and atlas used only)

For example:

2个 CPU.

go atlas simflags="-P 2”

3. Simulaiton准确度(64,80,128,160,256 default is 64)：

go <simulator> simflags="-x"

For example:

go atlas simflags="-80”

注意：, windows版本只有64的准确度
可混合使用

go atlas simflags="-V5.16.3.R-P 2-80”

 

---

---

参考：積體電路工程課程 (Silvaco TCAD - ATLAS)