Synopsys Sentaurus TCAD系列教程之--Sentaurus Process User Guide＜1＞

About This Guide（关于本指南）

Synopsys Sentaurus^TM工艺工具是一种先进的1D、2D和3D工艺模拟器，适用于硅和非硅半导体器件。它采用现代软件架构和最先进的模型来解决当前和未来的工艺流程技术。
Sentaurus Process 模拟所有标准工艺模拟步骤，扩散、分析注入、蒙特卡洛注入、氧化、蚀刻、沉积和硅化。三维功能包括使用MGOALS模块对三维边界文件进行网格划分、力学(应力和应变)、扩散、有限的3D氧化能力，以及Sentaurus Structure Editor接口(这是基于ACIS实体建模库的3D几何编辑工具)。
Sentaurus Process 使用Alagator脚本语言，允许用户求解自己的扩散方恒。Alagator可用于解决任何扩散方程，包括掺杂、缺陷、杂质和氧化扩散方程。三维扩散的模拟处理与一维和二维完全相同。因此，所有在1D和2D中可用的高级模型和用户可编辑性都可以在3D中使用。此外，高级校准还提供一组内置校准参数。

Related Publications（相关出版物）

有关更多信息，请参阅：

• TCAD Sentaurus发行说明，可在Synopsys SolveNet@支持网站上获得(请参见第xxxii页Accessing SolvNet)。
• 文档可在SolvNet网站https://solvnet.synopsys.com/DocsOnWeb上查阅。

Conventions(约定)

Synopsys文档中使用了以下约定

Customer Support(客户支持)

您可以通过Synopsys SolvNet客户支持网站或联系Synopsys支持中心获得客户支持。

《1》Aceessing SolvNet(访问 SolvNet)

SolvNet支持网站包括技术文章的电子知识库和关于Synopsys工具的常见问题的答案。该网站还为您提供了一系列Synopsys在线服务，包括下载软件、查看文档和拨打支持中心的电话。
访问SolvNet站点:

• 请访问https://solvnet.synopsys.com的网页
• 如果出现提示，请输入用户名和密码（如果没有Synopsys用户名和密码，请按照说明进行注册）
  如果需要使用网站的帮助，请单击菜单栏上的“帮助”

《2》Contacting Synopsys Support(联系Synopsys支持)

如果您有问题、疑问或建议，可以通过以下方式联系Synopsys支持:

• 请访问Synopsys Global Support Centers网站synopsys.com。您可以在那里找到Synopsys世界各地支持中心的电子邮箱地址和电话号码。

《3》Contacting Your Local TCAD Support Team Directly

发送电子邮件至:

• support-tcad-us@synopsys.com来自北美和南美
• support-tacd-eu@synopsys.com 来自欧洲内部
• support-tcad-ap@synopsys.com来自亚太地区(中国大陆、台湾、新加坡、马来西亚、印度、澳大利亚）
• support-tcad-kr@synopsys.com来自韩国
• support-tcad-jp@synopsys.com来自日本

Acknowledgments(致谢)

Sentaurus Process基于佛罗里达大学Mark Law教授及其同事于2000年和2002年发布的FLOOPS。Synopsys感谢Law教授的贡献及其在Sentaurus过程开发中的建议。有关佛罗里达大学TCAD的更多信息，请访问http://swamp.mse.ufl.edu/.
Senturus Process Kinetic Monte Carlo是基于西班牙利亚多利德大学的Martin Jaraiz教授及其同事所写的DADOS.Synopsys感谢Jaraiz教授的贡献和建议。