Sentaurus TCAD 输入输出文件

SPROCESS

输出文件

bnd.tdr 包含器件结构信息

fps.tdr包含器件掺杂分布

SDE

输入文件

bnd.tdr 包含器件结构信息

fps.tdr包含器件掺杂分布

输出文件

msh.tdr 包含器件结构,网格,掺杂信息

SDevice

输入文件

msh.tdr 包含器件结构,网格,掺杂信息

des.cmd 命令文件,仿真采用的模型,工作的时序,仿真的精度

desSi.par 物理模型参数设计信息

输出文件

des.log日志文件

des.plt电极信号

des.tdr瞬态仿真结果

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