直接翻译了说明书
目标:
熟悉Sentaurus设备的功能。
介绍Sentaurus设备使用的输入文件的结构。
1.1 Overview
Sentaurus器件是一种数字半导体器件模拟器,能够模拟各种半导体器件的电气,热学和光学特性。它可以在各种工作条件下模拟一维,二维和三维器件行为,包括混合模式电路仿真,将数值仿真器件与其紧凑建模相结合,这是在基于SPICE的电路仿真级别上执行的。
1.2 Command files
Sentaurus设备的典型命令文件由几个命令部分(或语句块)组成,每个部分执行相对独立的功能。 命令文件的默认扩展名是_des.cmd,例如pp1_des.cmd。
命令文件中使用的关键字不区分大小写,并且大多数可以缩写。 然而,外部引用诸如文件名和接触点名(其是指在器件结构文件中的接触定义)是大小写敏感的,并且必须使用双引号。
命令文件通常包含以下内容:
File section
Electrode section
Physics section
Plot section
Math section
Solve section
1.2.1 File section
文件部分定义了模拟的输入和输出文件,例如:
File { * Input Files Grid = "nmos_msh.tdr" Parameter = "nmos.par" * Output Files Current = "nmos" Plot = "nmos" Output = "nmos" }
(插入的python格式的代码,感觉我的随笔完全都是在瞎写...)
1.2.1.1 Input Files
Sentaurus设备至少需要一个输入文件来定义设备结构和字段值,这是强制性的掺杂分布以及设备内可选的机械应力分布。另外,可以指定一个可选的参数文件,其中声明了材料属性和物理模型参数。
网格文件(TDR格式)包含两种类型的信息:
设备几何体,包括区域和材料规格,接触和网格定义,包括所有离散网格点的位置,也称为节点或顶点
设备中的字段值,例如给定网格上设备内的掺杂分布
网格文件可以表示1D,2D或3D设备尺寸。 它通常由网格引擎Sentaurus Mesh生成。 文件扩展名.tdr表示该文件是TDR格式,这是Sentaurus Mesh生成的默认格式。
可选的参数文件包含材料参数和用户定义的模型参数的规格。 此文件中指定的参数值将取代Sentaurus设备内置的默认值。 用于Sentaurus设备参数文件的常见扩展名是.par。
1.2.1.2 Output Files
Sentaurus设备生成几个输出文件:
a.包含电极名称和生成的电压,电流,电荷,时间,温度等的文件,其名称在Current语句中指示
d.具有空间分布式解决方案变量及其派生物的文件,其名称在Plot语句中指示
c.一个协议文件,其名称在Output语句中指明
对于当前文件,Sentaurus设备始终将_des.plt扩展名(如果未明确指定)添加到实际文件名中,例如上面示例的nmos_des.plt。
绘图规范指示,其中最终的空间分布的领域,如溶液变量(载流子密度,静电势,和晶格温度)和它们的衍生物,应被存储在模拟结束的文件名。 生成的绘图文件格式取决于输入网格文件的格式。 如果网格文件为TDR格式,则Sentaurus设备也会生成TDR格式的绘图输出。 对于绘图文件,Sentaurus设备总是将扩展_des添加到实际文件名中,例如上例中的nmos_des.tdr。
输出文件规范指示Sentaurus设备将设备仿真期间生成的输出放置在何处。 Sentaurus设备始终将扩展_des.log(如果未明确指定)添加到实际文件名,例如上述示例的nmos_des.log。
1.2.2 Electrode section
电气设备触点与初始边界条件(偏置)和其他可选规格一起在电极部分中声明。
此处定义的每个电极必须完全匹配(区分大小写)Grid文件中的现有联系人名称。 模拟中仅包含电极部分中指定的接触点。
以下是电极规格示例:
Electrode { { Name="source" Voltage=0.0 } { Name="drain" Voltage=0.0 Resistor=100 } { Name="