第二部分相移干涉术

典型干涉图

 相移干涉术

 相移干涉术的优点

(1)测量精度高（>1/1000 条纹、 边缘跟踪仅为 1/10 边缘）
(2)快速测量
(3)低对比度条纹测量结果良好
(4)测量结果不受瞳孔间强度变化的影响 独立于整个瞳孔的强度变化
(5)在固定网格点获得相位
(6)易于使用大型固态探测器 阵列

移相-移动Mirro

 相位步进（移位）干涉测量四步法

 相位与高度的关系

 

相位测量算法

相位步进相位测量 

 集成集电极相位测量

积分桶与相位步进干涉术

辐照度测量值为

 

球面的典型条纹 

相位歧义-展开前

 

消除相位歧义 

(1)Arctan 模式 2pai（模式 1 波）

(2)要求相邻像素的差值小于p（1/2波OPD）

(3)跟踪路径

(4)当相位跳过时 >pai  加或减N*2pai  调整为<pai

相位歧义-展开后

振动引起的错误

（1）可能更广泛使用PSI的最严重障碍是其对外部振动的敏感性。

（2）振动会导致数据帧之间的相移不正确。

（3）误差取决于存在的振动频率以及相对于相移的振动相位。

单次相位测量干涉仪

动态干涉术 

 测量直径300 mm、2米ROC反射镜

大型光学器件的测试 

 像素化相位传感器

 使用偏振器作为移相器

定向微极化器阵列

图案化偏振片的SEM

 

 线栅偏振器的电子显微照片

每个像素唯一的相移元件阵列

系统配置：

 408 Hz的相位扫描

铝镜，408赫兹

 铝镜，3069 Hz，高阶模式

32 x 32元件可变形Mirro

热咖啡产生的热浪

测试薄玻璃板时产生的干涉条纹

                                         a  长相干透镜        b） 短相干透镜

 同时相移菲索——短相干长度源

 测试玻璃样品——短相干长度源

测试薄玻璃板时产生的干涉条纹

结论-单点干涉仪

测试窗口、棱镜和角柱体
测量曲率半径
测量指数不均匀性
测试圆柱表面

Zygo Verifire多区非球面测试仪

干涉显微镜图