07MEMS传感器技术讲座

最新推荐文章于 2024-07-29 15:35:39 发布

Iron2222

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分类专栏：芯片文章标签：传感器芯片 MEMS

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MEMS是微机电系统，能将物理、化学信号转化为电信号，常用于传感器设计。这种技术包括表面微加工工艺，如LPCVD，用于制造多晶硅结构。MEMS传感器与集成电路不同，前者封装更多电路，提高功能密度。研究方向涵盖加速度传感器、微流控与生物传感器技术，预示着MEMS在物联网和人工智能领域有广阔前景。

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把同步现象应用于传感器设计。

什么是MEMS？

1.mems芯片是什么意思

MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的缩写，中文名称是微机电系统。MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统，这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号。这类芯片做出来可以干嘛?最常用的是承担传感功能。在整个大的信息系统里有点类似于人的感官系统，例如MEMS麦克风芯片相当于人的耳朵，可以感知声音；MEMS扬声器芯片相当于人的嘴巴，可以发出声音；MEMS加速度计、陀螺仪、磁传感器芯片相当于人的小脑，可以感知方向和速度；MEMS压力芯片相当于人的皮肤，可以感知压力；MEMS化学传感器相当于人的鼻腔，可以感知味道和温湿度。没有MEMS芯片的人工智能和万物互联，就相当于没有感官器官的人。

MEMS芯片可以把外界的物理、化学信号转换成电信号，而ASIC是把MEMS芯片产生的电信号进一步处理和传输到下一级电路。

2.mems芯片工艺制程

表面微加工中，采用低压化学气相淀积(LPCVD)这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工艺采用若干淀积层来制作结构，然后释放部件，允许它们做横向和纵向的运动，从而形成MEMS执行器。最常见的表面微机械结构材料是LPVCD淀积的多晶硅，多晶硅性能稳定且各向同性，通过仔细控制淀积工艺可以很好的控制薄膜应力。