晶圆用的湿电子化学品等级如何划分?

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        知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:请问湿电子化学品(如异丙醇)分析纯级和电子级有什么区别?

分析纯是什么纯度?
我们日常化学实验用的化学品等级有五级:优级纯(GR,绿标签)、分析纯(AR,红标签)、化学纯(CP,蓝标签)、实验纯(LR,黄标签)、指示剂和染色剂(ID或SR,紫标签)。优级纯(GR),一般不低于99.9%。分析纯(AR),一般不低于99.7%。但是这两个浓度对于晶圆制造来说可就太低了,不适合晶圆的使用。

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晶圆用的湿电子化学品的等级半导体制造中的湿法化学要求十分苛刻,我们可以把它分为五个等级,G1-G5,具体要求如下:
等级金属杂质含量 (μg/L)控制粒径 (μm)颗粒个数 (个/mL)适应IC线宽和范围 (μm)应用Grade 1≤ 1000 (1 ppm)≤ 1.0≤ 25> 1.2适用于较低纯度要求的清洗和蚀刻工艺Grade 2≤ 10 (10 ppb)≤ 0.5≤ 250.8 - 1.2适用于中等纯度要求的清洗和蚀刻工艺Grade 3≤ 1 (1 ppb)≤ 0.5≤ 50.2 - 0.6适用于高纯度要求的清洗和蚀刻工艺Grade 4≤ 0.1 (0.1 ppb)≤ 0.2供应双方协定0.09 - 0.2适用于非常高纯度要求的关键工艺步骤Grade 5≤ 0.01 (0.01 ppb)供应双方协定供应双方协定< 0.09适用于超高纯度要求的最关键和高精度的工艺步骤 &nbsp;ppb,ppm是什么?
见文章《》

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