知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:请问湿电子化学品(如异丙醇)分析纯级和电子级有什么区别?
分析纯是什么纯度?我们日常化学实验用的化学品等级有五级:优级纯(GR,绿标签)、分析纯(AR,红标签)、化学纯(CP,蓝标签)、实验纯(LR,黄标签)、指示剂和染色剂(ID或SR,紫标签)。优级纯(GR),一般不低于99.9%。分析纯(AR),一般不低于99.7%。但是这两个浓度对于晶圆制造来说可就太低了,不适合晶圆的使用。
等级金属杂质含量 (μg/L)控制粒径 (μm)颗粒个数 (个/mL)适应IC线宽和范围 (μm)应用Grade 1≤ 1000 (1 ppm)≤ 1.0≤ 25> 1.2适用于较低纯度要求的清洗和蚀刻工艺Grade 2≤ 10 (10 ppb)≤ 0.5≤ 250.8 - 1.2适用于中等纯度要求的清洗和蚀刻工艺Grade 3≤ 1 (1 ppb)≤ 0.5≤ 50.2 - 0.6适用于高纯度要求的清洗和蚀刻工艺Grade 4≤ 0.1 (0.1 ppb)≤ 0.2供应双方协定0.09 - 0.2适用于非常高纯度要求的关键工艺步骤Grade 5≤ 0.01 (0.01 ppb)供应双方协定供应双方协定< 0.09适用于超高纯度要求的最关键和高精度的工艺步骤 ppb,ppm是什么?
见文章《》