哪些制程会用到电镀工序?

知识星球里的学员问:哪些产品会用到电镀工序,星主能总结一下吗?

什么是晶圆电镀?

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如上图,晶圆电镀(Electroplating)是一种通过电化学作用在晶圆表面沉积金属薄膜的技术。其中Anode为阳极,Cathode为阴极,晶圆固定在阴极上,阴阳极之间充满了电镀液。

以镀铜为例,电镀液中含有Cu²⁺,当通电后,整个电路导通,Cu阳极溶解为Cu²⁺,进入电镀液中,电镀液中的Cu²⁺在电流的作用下,沉积到阴极的晶圆表面。

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晶圆电镀的镀种有哪些?

晶圆电镀一般有Cu,Ni,锡,金,钨,钴等。

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晶圆电镀的特点?

1,湿法工艺,

2,金属沉积速度很快

3,成本相对较低

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