马兰戈尼（Marangoni）干燥原理

     知识星球里的学员问：马兰戈尼干燥有什么优势吗？原理是什么？

什么是马兰戈尼干燥？

马兰戈尼（Marangoni ）干燥是一种利用表面张力梯度来推动液体流动的干燥技术。其原理基于马兰戈尼效应。

什么是马兰戈尼效应？

马兰戈尼效应最早是由意大利物理学家卡罗·马兰戈尼首先在1865年论文中研究发表的，所以以此命名。

当两种液体接触时，表面张力强的液体对周围液体的拉力更强，因此会出现表面张力弱的液体向强的液体方面渗透的现象。即当两种液体接触时，就发生了马兰戈尼效应。

马兰戈尼干燥原理？

晶圆浸没在水中，水的上方布满了IPA的热蒸汽。将水缓慢排出或将晶圆向上缓慢提拉，由于 IPA的表面张力比水小得多（25 ℃下，IPA 表面张力为20.9×10-3 N/m；水的表面张力为 72.8×10-3 N/m），所以会在水流表层形成表面张力梯度，产生Marangoni 效应，晶圆上的水被拉回下方的水中。

马兰戈尼干燥的优势与缺点？

优点

1，被行业内接受为最佳的晶圆干燥方法，无水印。

2，干燥期间不接触空气

3，适合wet bench类型的机台干燥

缺点

价格昂贵

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