简单说一说芯片设计的DPT技术

今天想来简单聊一聊DPT技术-double pattern technology，也就是双层掩模版技术，在目前先进工艺下，这项技术已经应用的很普遍了。

我们知道，在光刻的时候，需要制造出芯片各个层的掩模版mask。就像刻印章一样，掩模版上留下金属走线的路径，把掩模版盖在wafer上后，光照下来就只能照在wafer没有被盖住的空的地方，mask盖住的地方没有收到照射。用这种方法就相应能刻蚀出各个层的金属走线了。

这只是我一个大致的理解，具体的工艺流程肯定还要复杂的多，这里只是想快速回顾一下mask的作用。那么，什么是DPT呢？顾名思义，它就是说同一层金属会设置两个掩模版，mask1和mask2，在光刻的时候，两个掩模版轮番上阵，每一个掩模版只有大概一半的金属走线信息。为什么要这样做呢？因为在先进工艺节点下，光刻的分辨率也是有一定极限的，比如互相平行的两段金属线，他们之间的间距必须大于10纳米才可以被刻出来，但是我们在其他刻蚀步骤时可以支持到比如3纳米，如果全部都按照10纳米的间距来制造，就会有一定的面积被浪费掉。因此人们想了个办法，我们可以同时制作两个mask，两个mask互相偏移5nm，而每个mask还是按10nm的规则来做。这样的话，我们就可以在第0nm、第10nm、第20nm的位置用mask1来刻金属线，而在第5nm、第15nm、第25nm的位置用mask2来刻金属线。这样子，最终的结果就是我们可以得到间距最小为5nm的金属层