光刻胶分为:半导体光刻胶/LCD光刻胶/PBC光刻胶
光刻胶的种类:
光刻胶的主要成分有光刻胶树脂、感光剂、溶剂和添加剂。光刻胶树脂是一种惰性的聚合物基质,是用来 将其它材料聚合在一起的粘合剂;光刻胶的粘附性、胶膜厚度等特性都是由树脂决定的。感光剂是光刻胶的核 心部分,它对光形式的辐射能,特别是在紫外区光的辐射能会发生反应;曝光时间、光源所发射光线的强度都 和感光剂的特性直接相关。溶剂是光刻胶中容量较大的成分;因为感光剂和添加剂都是固态物质,为了将他们 均匀地涂覆,要将它们加入溶剂进行溶解,形成液态物质,且使之具有良好的流动性,可以通过旋转方式涂布 在晶圆表面。添加剂可以用以改变光刻胶的某些特性,如可以通过添加染色剂来改善光刻胶,使其发生反射。
光刻胶的品种多种多样,基于感光树脂的化学结构,按技术可分为光聚合型、光分解型、光交联型三种。另外,正性和负性光刻胶是光刻胶的两个重要品类,光照后形成可溶物质的为正性胶,形成不可溶物质的为负 性胶。由于性能较优,正性光刻胶应用更广,但由于光刻胶需求量大,负性胶仍有一定的应用市场。
光刻胶的组成部分: