SEM测试常见问题

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

常见问题

 

电镜图像的标尺与放大倍数的关系

 

电镜图像的标尺通常都可以设定为固定的或可变的。前者是标尺的长度不变，但代表的长度随放大倍率变化；后者是标尺长度适应不同阶段放大倍率可变，但代表的长度在一定的放大倍率范围内固定不变。

 

因此同样的放大倍率可以有不同的标尺，但在同一输出媒介上的实际尺寸不变。改变输出方式时，放大倍率已改变（当然显示的放大倍率不会变化），测量的尺寸当然也就改变了。

 

因此，标尺数值大小跟放大倍数没有必然关系，具体数值大小和不同的厂商设置有关。

 

图像差与导电性

 

自由电子的累积会在样品的局部形成静电场，影响正常电子信息的溢出，产生荷电效应，从而导致图像局部异常明亮，局部异常暗；表面磨平；图像畸形；图像漂移现象；而样品的导电性差是产生这种现象的主要原因。

 

一般通过喷金（碳），导电染色等方法增强样品导电性，降低加速电压或者在产生荷电效应前快速观察。

 

电子束损伤

 

部分样品不耐电子束，在拍摄时会造成拍摄部位破裂和局部漂移；为避免这种现象的产生，降低加速电压及较小电子束流，加厚喷镀金属膜，在拍摄时快速选定要拍摄的部位，较短时间内聚焦拍摄。

 

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