在半导体生产线中,EAP(Equipment Automation Program)系统是机台控制和数据管理的核心系统。SECS(SEMI Equipment Communications Standard)协议是EAP系统与机台之间数据传输和指令控制的重要通信协议。本文将介绍SECS协议的基本概念和EAP系统如何通过SECS协议与机台进行数据传输和指令控制。
SECS协议是半导体制造设备通讯标准之一,也是SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)制定的通信标准之一。它定义了在制造设备和控制器之间进行通信的方法和协议。SECS协议提供了一种标准的、通用的方法,以便半导体制造设备能够相互通信,无论设备的供应商、型号和制造商是什么。此外,SECS协议还定义了各种设备通信中使用的消息格式和通信机制,这些消息包括控制命令、报警信息、设备状态等等。
图.半导体芯片(iStock)
在半导体生产中,EAP系统通过SECS协议与机台进行数据传输和指令控制,实现对机台的监控和控制。EAP系统首先与机台建立通信连接,然后通过SECS协议传输数据和指令。EAP系统可以向机台发送控制命令,例如启动、停止、暂停、恢复等。同时,EAP系统可以获取机台的状态信息和生产数据,并对数据进行处理和分析,以实现对机台的监控和控制。通过EAP系统