Wafer Map软件中-Special Rule

在半导体CP段的Wafer Map软件中,Special Rule(特殊规则)建模是实现复杂测试和质量控制逻辑的关键部分。这些规则需要能够适应多变的测试标准和客户需求。以下是一些常见的Special Rule建模业务及其在软件设计中的实现方法:

1. **CPTest程序名比对**:
   - 用于确保测试程序与设计规范一致。软件需要能够记录和比对实际执行的测试程序与预期的程序名。
   - 实现一个比对机制,当测试程序名与Wafer Map中记录的程序名不匹配时,触发警告或错误。

2. **多片连续良率卡控**:
   - 用于检测连续几片Wafer的良率是否低于某个阈值,以识别可能的工艺问题。
   - 设计统计工具,能够追踪和分析连续N片Wafer的良率趋势。
   - 实现报警系统,当连续N片Wafer的良率低于预设阈值时,自动通知相关人员。

3. **单片Wafer良率卡控**:
   - 用于监控单片Wafer的良率是否达到质量标准。
   - 在Wafer Map中为每片Wafer设定良率目标,并在测试结束后自动计算实际良率。
   - 如果实际良率未达标,软件应提供原因分析工具,帮助工程师快速定位问题。

4. **DUT(Device Under Test,被测设备)良率卡控**:
   - 针对单个芯片的良率控制,确保每个芯片都通过了必要的测试。
   - 为每个DUT设定测试参数和合格标准,软件自动判断每个DUT是否合格。

5. **参数范围卡控**:
   - 对于电学参数,如电压、电流、频率等,设定参数的上下限,超出范围的DUT将被标记为不合格。

6. *

### WM-811K 晶圆图数据格式概述 WM-811K 是一种用于描述半导体制造过程中晶圆缺陷分布的标准数据集。该数据通常被用来训练机器学习模型以检测模式、预测良率或其他质量控制目标[^1]。 #### 数据结构 WM-811K 的核心是一个二维矩阵,其中每一行代表一个特定的径向位置(距离中心的距离),而列则表示角度方向上的分割区域。具体来说: - **Wafer ID**: 唯一标识每片晶圆。 - **Defect Type (Label)**: 缺陷类别标签,可能包括随机噪声型、集中簇型等多种形式。 - **Matrix Dimensions**: 矩阵大小通常是固定的,例如 \( 27 \times 27 \),对应于划分后的网格单元格数。 以下是 Python 中的一个简单示例来展示如何加载并处理此类数据: ```python import numpy as np def load_wm_811k_data(file_path): """ 加载 WM-811K 格式的晶圆映射数据文件。 参数: file_path (str): 文件路径 返回: tuple: 包含特征和标签的数据元组 (features, labels) """ data = np.load(file_path) # 假设为 .npy 或其他 NumPy 支持的存储方式 features = data['wafer_maps'] # 提取晶圆地图部分 labels = data['labels'] # 对应的分类标签 return features, labels # 使用方法 file_name = 'wm_811k_dataset.npy' X, y = load_wm_811k_data(file_name) print(f"Features shape: {X.shape}") # 输出形状如 (num_samples, 27, 27) print(f"Labels shape: {y.shape}") # 输出形状如 (num_samples,) ``` #### 示例数据片段 假设我们有一个小型样本集合,则其内容可以如下所示: | Wafer Map Index | Defect Label | |------------------|--------------| | [[0, 1, ...],...] | Random Noise | | [[1, 0, ...],...] | Clustered | 这里,“Random Noise” 表明整个晶圆上均匀散布着少量缺陷;“Clustered” 则意味着某些局部区域内存在高密度聚集现象[^2]。 #### 应用场景 这种类型的晶圆图广泛应用于工业界中的多个领域,比如通过卷积神经网络识别不同种类的失效模式,从而优化生产流程或者减少报废成本等操作环节之中[^3]。
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