MEMS加速度计中的核心简介

MEMS加速度计中的核心简介

随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点，而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容，易于实现数字化、智能化以及批量生产，因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。

加速度传感器的原理随其应用而不同，有压阻式，电容式，压电式，谐振式等。

不管怎么样加速度传感器就是需要在线性运动情况下得到的加速度力并通过内部的核心的原理来得出不同的数值在通过解算得出想要的数据。
一般的加速度计是一个方向运动得出的单轴加速度计数据并通过电容式工作原理得出的差压值换算得出相对应的加速度数据，双轴、三轴、同样如此（X\Y\Z）三个立体坐标方向根据载体不同方向的运动 得出X Y Z三个不同坐标系加速度值。并通过微电路解算出应得的数据信息得出结果。
所以mems加速度计的核心就是 微机械工艺和不通过结构模式的出的数值来确定是否在精度和稳定性符合客户所要的指标。