MEMS传感器的产业链

MEMS传感器的产业链
一、MEMS简介MEMS的全称是微型电子机械系统利用半导体制造工艺和材料,将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分:传感器和执行器。与传统的机械传感器相比,MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等优点,可以满足物联网时代对于传感器的要求。
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二、 MEMS分类MEMS传感器种类很多,也有多种分类方法。按其工作原理,大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器,其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类,不同的MEMS传感器可以测量不同的量,实现不同的功能。
四、国内传感器企业的主要布局区域
长三角区域•以上海、无锡、南京为中心。•逐渐形成包括热敏、磁敏、图像、称重、光电、温度、气敏等较为完备的传感器生产体系及产业配套。
珠三角区域•以深圳中心城市为主。•由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。
东北地区•以沈阳、长春、哈尔滨为主。•主要生产MEMS力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。
京津区域•主要以高校为主。•从事新型传感器的研发,在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。
中部地区•以郑州、武汉、太原为主。•产学研紧密结合的模式,在PTC/NTC热敏电阻、感应式数字液位传感器和气体传感器等产业方面发展态势良好。

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