Silvaco Vcsel example01 解析

go atlas

#启动atlas模块

options verbose

#提供额外的debugging输出数据

mesh cyl auto

#定义圆柱对称的网格

x.mesh location=0 spacing=0.5

x.mesh location=6 spacing=0.5

#定义X方向网格，location定义网格的位置，spacing 网格间距

#定义top区域，从y=0的位置向上

#sapcer

region material=GaAs thick=0.01 sy=0.005 accept=4e19 top

region material=GaAs thick=0.02 sy=0.01 accept=4e17 top

# material定义材料，thick定义厚度，sy定义y方向网格间距，accept定义掺杂浓度

#top DBR

dbr half.cyc=60 thick1=0.1157 thick2=0.1273 n1=3 n2=3 mat1=GaAs mat2=AlGaAs x2.comp=0.4 na1=4e17 na2=4e17 top

#half.cyc 总层数等价于layer，材料1的厚度，材料2的厚度，n1定义材料1 的网格数，n2定义材料2的网格数，#mat1材料1，mat2材料2，x2.comp定义材料2的Al组分，na1和na2定义p型掺杂浓度

#top contact

region material=GaAs thick=0.184 sy=0.