垂直型氧化镓肖特基二极管Silvaco仿真代码分享

这段代码展示了使用Goatlas进行的半导体器件仿真,涉及电场分布、正向与反向扫描操作,以及计算得到的反向击穿电压。代码提供了设备性能模拟的关键步骤和输出结果。

摘要生成于 C知道 ,由 DeepSeek-R1 满血版支持, 前往体验 >

仿真代码:

go atlas

mesh  space.mult=1.0

x.mesh loc=0.00 spac=2
x.mesh loc=10.00 spac=1
x.mesh loc=40.00 spac=1
x.mesh loc=50.00 spac=2
#
y.mesh loc=-0.3 spac=0.02
y.mesh loc=0.00 spac=0.05
y.mesh loc=10.00 spac=0.5
y.mesh loc=60.00 spac=2

region   num=1 material=air y.min=-0.3 y.max=0 
region   num=2 user.material=Ga2O3 y.min=0 y.max=10.00
region   num=3 user.material=Ga2O3 y.min=10.00 y.max=60
region   num=4 material=Nickel y.min=-0.3 y.max=0 x.min=10.00 x.max=40.00

electr reg=4 name=anode
electr name=cathode  bot

#....   N-epi doping 
doping  region=2 n.type conc=5e16 uniform

#....   N+ doping 
doping  region=3 n.type conc=1e18 uniform

material material=Ga2O3 user.default=GaN user.group=semiconductor \
         affinity=4.0 eg300=4.8 nc300=3.72e18 nv300=3.72e18 permittivity=10.0  \
         taun0=1e-9 taup0=2.1e-10 mun=118 mup=50 tcon.const tc.const=0.13 \
	     NSRHN=3.0e17 NSRHP=3.0e17 

models SRH fldmob  Auger print 
impact selb AN1=2.5e8 AN2=2.5e8 BN1=2.26e7 BN2=2.26e7 AP1=2.23e8 AP2=2.23e8 BP1=2.7e8 BP2=2.7e8

contact  name=anode workf=4.8 surf.rec barrier 

solve      init
method newton trap maxtrap=30
# 反向扫描
log outfile = sbd_Reverse.log
solve vanode=0 
solve vstep=-5 vfinal=-1000 name=anode
log off
tonyplot sbd_Reverse.log 
save outf=sbd_Reverse.str
tonyplot sbd_Reverse.str 

output   con.band val.band flowline ex.field

solve      init
# 正向扫描
log   outf=sbd_Forward.log
solve      vanode=0.05 vstep=0.1 vfinal=2  name=anode
log off
tonyplot sbd_Forward.log 
save outf=sbd_Forward.str
tonyplot sbd_Forward.str 

quit


仿真结果

下图是器件的电场分布图,可以看到明显的电场集中效应
电场分布图1
电场分布图2
下图是器件的正向扫描曲线:
正向扫描曲线
下图是器件反向扫描曲线,可以看到器件的反向击穿电压大概为327V
反向扫描曲线


上述代码仅供参考,欢迎交流讨论!

<think>嗯,用户想用Silvaco TCAD模拟碳化硅肖特基二极管的反向特性。首先,我需要回忆一下肖特基二极管的基本结构和反向特性相关的参数,比如反向击穿电压、漏电流等。碳化硅材料因为其宽禁带特性,通常有较高的击穿电场,所以在仿真时可能需要特别注意材料参数的设置。 接下来,用户可能需要知道在Silvaco中具体如何建立器件结构。记得Silvaco的Atlas模块是用来做器件仿真的,可能需要使用Deckbuild来编写命令脚本。结构部分应该包括阴极、阳极、以及可能的掺杂区域。比如,碳化硅肖特基二极管的结构可能是一个n型SiC衬底,上面有金属接触形成肖特基结,而欧姆接触则在另一侧。 然后是材料参数的设置,碳化硅的材料参数如禁带宽度、电子迁移率、临界电场等都需要正确输入。这些参数可能需要查阅文献或者Silvaco的Material Database。另外,肖特基接触的势垒高度是关键参数,会影响反向特性,用户可能需要设置Schottky Barrier Height的值。 物理模型方面,反向特性仿真需要考虑碰撞电离模型,比如Selberherr的模型,以模拟击穿现象。同时,可能需要开启SRH复合和陷阱模型,尤其是在高电场区域。在仿真反向偏压时,需要逐步增加电压直到击穿,这时候可能需要使用solve命令,并设置电压步长。 分析结果时,提取反向I-V曲线,观察击穿电压的位置,同时检查电场分布,确认击穿是否发生在预期的位置,比如肖特基接触边缘。用户可能需要使用TonyPlot来可视化电场和电流分布。 可能遇到的问题包括仿真不收敛,特别是在接近击穿电压时,这时候需要调整网格密度,或者修改求解器的参数,比如增加迭代次数或调整阻尼系数。另外,材料参数设置错误也会导致结果不准确,需要仔细核对。 用户提供的参考引用里提到用PIN器件仿真击穿特性,但肖特基二极管的结构不同,可能需要调整仿真策略。比如,肖特基二极管没有本征层,所以结构更简单,但电场集中在金属-半导体接触处,需要更精细的网格划分。 最后,用户可能需要优化仿真参数,比如温度对反向特性的影响,或者不同势垒高度下的漏电流变化。这些都是后续可以扩展的方向。需要确保用户了解每一步的具体操作,从结构构建到物理模型选择,再到结果分析,逐步指导他们完成仿真流程。</think>以下是在Silvaco TCAD中模拟碳化硅肖特基二极管反向特性的具体步骤: ### 一、器件结构搭建 1. 使用Atlas模块定义垂直结构: ```deckbuild go atlas mesh width=1.0 region num=1 material=SIC electrode name=anode top electrode name=cathode bottom doping uniform conc=1e16 n.type region=1 ``` 需指定4H-SiC材料参数: $$ \varepsilon_r=9.7,\ E_g=3.26\ eV,\ \mu_n=900\ cm^2/(V\cdot s) $$[^1] ### 二、物理模型设置 ```deckbuild models print srh auger bgn fermi contact name=anode workfunction=4.7 # 肖特基接触功函数 impact selb # 启用碰撞电离模型 ``` ### 三、反向偏压扫描 ```deckbuild solve init log outf=reverse.log method newton autonr solve vcathode=0 step=0.5 vfinal=-200 tonyplot reverse.log ``` ### 四、关键结果提取 1. 反向I-V特性曲线 2. 最大电场分布(击穿时约3MV/cm) 3. 空间电荷区宽度变化 ```deckbuild extract name="BV" max i.vccur where abs(vcathode)=200 ``` ### 五、特殊处理技巧 1. 网格优化:在肖特基界面处加密网格 ```deckbuild x.mesh loc=0.00 spac=0.01 x.mesh loc=0.05 spac=0.1 ``` 2. 收敛性设置: ```deckbuild method carriers=1 itlimit=50 ```
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