Sentaurus非局域隧穿模型的使用经验总结

---

---

一、为什么使用非局域隧穿模型？

非局域隧穿模型能够描述来自导带的电子（electrons from the conduction band, ECB），来自价带的空穴（holes from the valence band, HVB），来自价带的电子（electrons from the valance band, EVB)包含以上所有分量的隧穿，能够用于铁电隧穿结的研究（FTJ）

二、使用步骤

1.Physics

在sdevice中激活非局域随穿模型，代码如下（示例）：

# 方式一
Physics { 
	# 同时开启电子隧穿和空穴隧穿
	eBarrierTunneling "NLM" hBarrierTunneling "NLM" 
}

#方式二
Physics { 
	eBarrierTunneling "NLM"(BarrierLowering)
}

#方式三
Physics { 
	# 默认情况下只考虑导带电子隧穿，加上Band2Band=Simple，将价带电子隧穿纳入考虑
	eBarrierTunneling "NLM"(Band2Band=Simple)
	# 默认情况下只考虑价带空穴隧穿，加上Band2Band=Simple，将导带空穴隧穿纳入考虑
	hBarrierTunneling "NLM"(Band2Band=Simple)
}

#方式四
Physics { 
	# 详见Sentaurus Device User Guide
	eBarrierTunneling "NLM"(Band2Band=Full)
}

#方式五
Physics { 
	# 详见Sentaurus Device User Guide
	eBarrierTunneling "NLM"(Band2Band=UpsideDown)
}

2.Math

使用非局域隧穿模型，需要在sdevice的Math部分，定义非局域网格，定义格式如下

Math{
	NonLocal<string>(
		Barrier(……)
		RegionInterface=<string>
		MaterialInterface=<string>
		Electrode=<string>
		……
	）
}

NonLocal后面的字符串是非局域网格的名称。

Sentaurus支持两种指定非局域网格的方法：

• 通过指定形成隧道屏障的区域region和材料material（关键字barrier）。
• 通过指定参考曲面（关键字RegionInterface、MaterialInterface和Electrode）。

Barrier定义更简单，但不太通用，仅适用于直接隧穿绝缘体屏障的非局域网格

下面是一些示例：

# 方式一
Math{
	NonLocal "NLM"(
		Barrier(Region="top" Region="bottom"）
	）
}

# 方式二
Math{
	NonLocal "NLM"(
		RegionInterface="gateoxide/channel"
		Length = 5e-7 #该值确定顶点到参考曲面的最大距离，用于限制非局域线的长度，防止出现非常长的隧穿路径，该值不存在默认值，必须明确规定一个值，单位：cm
	）
}


# 方式三
Math{
	# 非局域网格名为NLM_silicon_oxide
	NonLocal "NLM_silicon_oxide"(
		MaterialInterface="Silicon/Oxide"
		Length = 5e-7 

	）
}

# 方式四
Math{
	NonLocal "NLM"(
		Electrode="Gate"
		Length = 5e-7 
		Digits=5 # 积分的相对精度
		EnergyResolution=0.001 # 积分的精度
	）
}

3.Parameter

使用非局域隧穿模型需要在Parameter文件中加入非局域隧穿相关参数，示例如下

# 全局定义
BarrierTunneling "NLM"{
	g = 1.0, 1.0 # 无量纲因子
	mt = 0.46, 1.0 # 隧穿电子、空穴的有效质量
	A = 1.0, 1.0 # 拟合系数
}

Material="HfO2"
{
	Bandgap
	{					
		Chi0 =	2.7		
		Eg0	 =	5.4
	}
	# 在单一材料中定义
	BarrierTunneling "NLM"{
		g = 1.0, 1.0
		mt = 0.46, 1.0
		A = 1.0, 1.0
	}

}

---

文章主要内容来源于对用户手册的总结，如有不足，欢迎批评指正！

参考文献

[1] Sentaurus Device User Guide
[2] Sentaurus TCAD操作与仿真入门指导书（心兰相随tcad 编）